| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 微纳驱动技术国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 压电驱动技术国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.4 粘滑驱动技术国内外研究现状 | 第21-24页 |
| 1.5 课题来源以及主要研究内容 | 第24-26页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第24页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 粘滑驱动机理及运动特性研究 | 第26-40页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 粘滑驱动原理 | 第26-28页 |
| 2.3 粘滑驱动的运动特性研究 | 第28-39页 |
| 2.3.1 压电元件的运动学模型 | 第28-30页 |
| 2.3.2 移动台的运动学模型 | 第30-37页 |
| 2.3.3 粘滑驱动完整运动规律 | 第37-38页 |
| 2.3.4 移动台运动的影响因素 | 第38-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 粘滑驱动定位台动力学建模及仿真 | 第40-56页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 粘滑驱动系统建模 | 第40-50页 |
| 3.2.1 压电元件电学模型 | 第40-43页 |
| 3.2.2 压电叠堆与柔性传动机构的联合机械动力学建模 | 第43-45页 |
| 3.2.3 摩擦模型的选择 | 第45-49页 |
| 3.2.4 粘滑平台整体动力学模型 | 第49-50页 |
| 3.3 粘滑驱动系统的仿真分析 | 第50-55页 |
| 3.4 小结 | 第55-56页 |
| 第四章 粘滑驱动定位平台的结构设计与仿真 | 第56-65页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 粘滑驱动定位平台的结构设计 | 第56-59页 |
| 4.3 定子有限元仿真分析 | 第59-64页 |
| 4.3.1 有限元建模 | 第59-60页 |
| 4.3.2 复合铰链尺寸设计及分析 | 第60-61页 |
| 4.3.3 柔性传动机构的刚度计算 | 第61页 |
| 4.3.4 强度校核以及预压力调节范围的计算 | 第61-63页 |
| 4.3.5 模态分析 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 粘滑驱动定位平台的实验研究 | 第65-81页 |
| 引言 | 第65页 |
| 5.1 实验目标与开环测试系统的搭建 | 第65-66页 |
| 5.1.1 实验目标 | 第65页 |
| 5.1.2 开环测试系统的搭建 | 第65-66页 |
| 5.2 粘滑驱动定位平台的开环实验测试 | 第66-71页 |
| 5.2.1 粘滑驱动定位平台位移测试 | 第66-67页 |
| 5.2.2 速度测试 | 第67-69页 |
| 5.2.3 最小步长测试 | 第69-70页 |
| 5.2.4 分辨率测试 | 第70-71页 |
| 5.3 步长影响因素的实验 | 第71-75页 |
| 5.3.1 预压力对平台步长的影响 | 第71-73页 |
| 5.3.2 惯性负载质量对平台步长的影响 | 第73-74页 |
| 5.3.3 阶跃时间对平台步长的影响 | 第74-75页 |
| 5.4 闭环测试系统的搭建 | 第75-76页 |
| 5.5 粘滑驱动定位平台定位精度测试 | 第76-79页 |
| 5.5.1 平台波动范围的检测 | 第77页 |
| 5.5.2 平台定位精度的测试 | 第77-79页 |
| 5.6 小结 | 第79-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 总结 | 第81-82页 |
| 6.2 展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第88页 |