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基于粘滑驱动的小型精密定位平台

摘要第4-5页
abstract第5页
注释表第12-14页
第一章 绪论第14-26页
    1.1 课题背景和意义第14-15页
    1.2 微纳驱动技术国内外研究现状第15-18页
    1.3 压电驱动技术国内外研究现状第18-21页
    1.4 粘滑驱动技术国内外研究现状第21-24页
    1.5 课题来源以及主要研究内容第24-26页
        1.5.1 课题来源第24页
        1.5.2 主要研究内容第24-26页
第二章 粘滑驱动机理及运动特性研究第26-40页
    2.1 引言第26页
    2.2 粘滑驱动原理第26-28页
    2.3 粘滑驱动的运动特性研究第28-39页
        2.3.1 压电元件的运动学模型第28-30页
        2.3.2 移动台的运动学模型第30-37页
        2.3.3 粘滑驱动完整运动规律第37-38页
        2.3.4 移动台运动的影响因素第38-39页
    2.4 本章小结第39-40页
第三章 粘滑驱动定位台动力学建模及仿真第40-56页
    3.1 引言第40页
    3.2 粘滑驱动系统建模第40-50页
        3.2.1 压电元件电学模型第40-43页
        3.2.2 压电叠堆与柔性传动机构的联合机械动力学建模第43-45页
        3.2.3 摩擦模型的选择第45-49页
        3.2.4 粘滑平台整体动力学模型第49-50页
    3.3 粘滑驱动系统的仿真分析第50-55页
    3.4 小结第55-56页
第四章 粘滑驱动定位平台的结构设计与仿真第56-65页
    4.1 引言第56页
    4.2 粘滑驱动定位平台的结构设计第56-59页
    4.3 定子有限元仿真分析第59-64页
        4.3.1 有限元建模第59-60页
        4.3.2 复合铰链尺寸设计及分析第60-61页
        4.3.3 柔性传动机构的刚度计算第61页
        4.3.4 强度校核以及预压力调节范围的计算第61-63页
        4.3.5 模态分析第63-64页
    4.4 本章小结第64-65页
第五章 粘滑驱动定位平台的实验研究第65-81页
    引言第65页
    5.1 实验目标与开环测试系统的搭建第65-66页
        5.1.1 实验目标第65页
        5.1.2 开环测试系统的搭建第65-66页
    5.2 粘滑驱动定位平台的开环实验测试第66-71页
        5.2.1 粘滑驱动定位平台位移测试第66-67页
        5.2.2 速度测试第67-69页
        5.2.3 最小步长测试第69-70页
        5.2.4 分辨率测试第70-71页
    5.3 步长影响因素的实验第71-75页
        5.3.1 预压力对平台步长的影响第71-73页
        5.3.2 惯性负载质量对平台步长的影响第73-74页
        5.3.3 阶跃时间对平台步长的影响第74-75页
    5.4 闭环测试系统的搭建第75-76页
    5.5 粘滑驱动定位平台定位精度测试第76-79页
        5.5.1 平台波动范围的检测第77页
        5.5.2 平台定位精度的测试第77-79页
    5.6 小结第79-81页
第六章 总结与展望第81-83页
    6.1 总结第81-82页
    6.2 展望第82-83页
参考文献第83-87页
致谢第87-88页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第88页

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