基于扫描探针显微镜的微放电研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 课题的来源和论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第2章 精密位移台放电试验 | 第16-23页 |
| 2.1 微米间隙放电机构 | 第16-17页 |
| 2.1.1 实验装置 | 第16页 |
| 2.1.2 试验回路及试验方法 | 第16-17页 |
| 2.2 放电现象 | 第17-19页 |
| 2.3 放电前后针电极形貌表征 | 第19-21页 |
| 2.4 放电现象讨论 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 扫描探针显微镜放电试验 | 第23-41页 |
| 3.1 放电测试回路 | 第23页 |
| 3.2 针电极的简介 | 第23-24页 |
| 3.3 击穿试验 | 第24-34页 |
| 3.3.1 试验结果与分析 | 第24-27页 |
| 3.3.2 针板电极电场仿真 | 第27-29页 |
| 3.3.3 放电前后形貌变化 | 第29-32页 |
| 3.3.4 功函数变化 | 第32-34页 |
| 3.4 预击穿电流试验 | 第34-40页 |
| 3.4.1 负极性预击穿电流试验结果与分析 | 第35-37页 |
| 3.4.2 负极性预击穿电流拟合 | 第37-39页 |
| 3.4.3 正负极性预击穿电流对比 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 结论 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及获得成果 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
