微细超声加工装置及基础工艺的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题研究背景 | 第8页 |
| ·超声波及其基本特性 | 第8-9页 |
| ·传统超声加工原理及材料去除机理 | 第9-11页 |
| ·微细超声加工原理 | 第11-15页 |
| ·微细工具的在线制备 | 第11-13页 |
| ·微细超声加工的加振方式 | 第13-15页 |
| ·传统超声加工及微细超声加工的发展 | 第15-17页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第17-18页 |
| ·课题的来源 | 第17页 |
| ·本文研究内容 | 第17-18页 |
| 2 微细超声加工装置的设计 | 第18-35页 |
| ·微细超声加工装置的硬件设计 | 第18-26页 |
| ·微细超声加工装置的总体结构设计 | 第18-19页 |
| ·微细工具在线制备系统 | 第19-20页 |
| ·超声波振动系统 | 第20-23页 |
| ·伺服系统及主轴 | 第23-24页 |
| ·加工力状态检测系统 | 第24页 |
| ·磨料悬浮液补给系统 | 第24-26页 |
| ·视频显微系统 | 第26页 |
| ·工作台基座 | 第26页 |
| ·微细超声加工系统的软件设计 | 第26-35页 |
| ·软件总体结构设计 | 第26-27页 |
| ·手动功能模块 | 第27-28页 |
| ·USM/EDM加工模式选择模块 | 第28-29页 |
| ·伺服控制模块 | 第29-30页 |
| ·接触感知模块 | 第30-31页 |
| ·三维加工模块 | 第31-35页 |
| 3 微细孔及微细阵列孔的超声加工 | 第35-54页 |
| ·微细超声加工中振幅的测量 | 第35-38页 |
| ·微细孔超声加工 | 第38-47页 |
| ·微细工具的制备 | 第38-40页 |
| ·磨粒大小对微细孔加工影响 | 第40-42页 |
| ·转速对微细超声加工影响 | 第42-44页 |
| ·加工力对微细超声加工影响 | 第44-45页 |
| ·微细圆孔及微细方孔加工实例 | 第45-47页 |
| ·微细阵列孔超声加工 | 第47-54页 |
| ·反拷法制备微细阵列工具 | 第47-49页 |
| ·阵列孔加工实例 | 第49-54页 |
| 4 三维型腔微细超声加工 | 第54-58页 |
| ·均匀损耗法的应用 | 第54-55页 |
| ·工具轴向补偿 | 第54页 |
| ·均匀损耗法与CAD/CAM的集成 | 第54-55页 |
| ·三维型腔加工实例 | 第55-58页 |
| 5 微细超声加工中工具径向振动对加工间隙的影响 | 第58-65页 |
| ·加工间隙变化的实验现象 | 第58-59页 |
| ·工具径向振动的理论分析 | 第59-62页 |
| ·力学模型的假设条件 | 第59-60页 |
| ·工具径向振动模型及加工间隙计算 | 第60-62页 |
| ·数值计算及结果分析 | 第62-65页 |
| ·数值计算 | 第62-63页 |
| ·计算结果分析 | 第63-65页 |
| 结论及展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
