| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第15-33页 |
| 1.1 引言:柔性电子—一场全新的电子技术革命 | 第15-17页 |
| 1.2 柔性电子的发展简介 | 第17-18页 |
| 1.3 柔性电子的应用方向 | 第18-25页 |
| 1.3.1 柔性显示屏 | 第18-19页 |
| 1.3.2 薄膜太阳能电池 | 第19-20页 |
| 1.3.3 柔性逻辑与存储 | 第20-21页 |
| 1.3.4 柔性可穿戴设备 | 第21-23页 |
| 1.3.5 电子皮肤 | 第23-25页 |
| 1.4 二硫化钼在柔性电子上的研究 | 第25-31页 |
| 1.4.1 二硫化钼的优异特性 | 第25-26页 |
| 1.4.2 二硫化钼在柔性电子上的发展现状 | 第26-31页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 实验相关仪器设备与技术 | 第33-43页 |
| 2.1 实验相关仪器设备 | 第33-41页 |
| 2.1.1 化学气相沉积系统(CVD) | 第33-34页 |
| 2.1.2 原子层沉积系统(ALD) | 第34-35页 |
| 2.1.3 电子束蒸发系统(E-beam) | 第35页 |
| 2.1.4 磁控溅射镀膜设备 | 第35-36页 |
| 2.1.5 拉曼光谱仪(Raman) | 第36-37页 |
| 2.1.6 原子力显微镜(AFM) | 第37-38页 |
| 2.1.7 紫外曝光机(MA6) | 第38-39页 |
| 2.1.8 反应离子刻蚀(RIE) | 第39-40页 |
| 2.1.9 探针台和半导体分析仪、示波器 | 第40-41页 |
| 2.2 器件加工相关技术工艺 | 第41-43页 |
| 2.2.1 涂胶 | 第41-42页 |
| 2.2.2 薄膜转移 | 第42页 |
| 2.2.3 溶脱(lift-off) | 第42页 |
| 2.2.4 显影定影 | 第42-43页 |
| 第3章 直接在二维材料表面原子层沉积氧化铝 | 第43-59页 |
| 3.1 引言 | 第43-44页 |
| 3.2 传统的原子层沉积法 | 第44-47页 |
| 3.2.1 传统原子层沉积法的原理 | 第44-46页 |
| 3.2.2 传统法在二维材料表面沉积绝缘层的困难及解决办法 | 第46-47页 |
| 3.3 改进的原子层沉积法 | 第47-58页 |
| 3.3.1 改进的原子层沉积法的原理及步骤 | 第47-48页 |
| 3.3.2 改进的原子层沉积法的在二维材料表面的沉积情况 | 第48-50页 |
| 3.3.3 改进的原子层沉积法的优化 | 第50-53页 |
| 3.3.4 改进的原子层沉积法有助于提高二维材料器件的性能 | 第53-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 大面积柔性透明二硫化钼场效应晶体管及逻辑集成器件 | 第59-85页 |
| 4.1 引言 | 第59-60页 |
| 4.2 柔性场效应晶体管 | 第60-75页 |
| 4.2.1 大面积单层二硫化钼薄膜的生长制备及表征 | 第60-62页 |
| 4.2.2 大面积柔性二硫化钼场效应晶体管的制备 | 第62-66页 |
| 4.2.3 晶体管接触电阻的表征 | 第66-68页 |
| 4.2.4 大面积柔性场效应晶体管的电学性能 | 第68-72页 |
| 4.2.5 柔性场效应晶体管弯曲测试 | 第72-75页 |
| 4.3 柔性逻辑集成器件 | 第75-83页 |
| 4.3.1 柔性逻辑器件的制备过程 | 第76页 |
| 4.3.2 反相器 | 第76-77页 |
| 4.3.3 或非门 | 第77-79页 |
| 4.3.4 与非门 | 第79-80页 |
| 4.3.5 与门 | 第80-81页 |
| 4.3.6 静态随机存储器 | 第81-82页 |
| 4.3.7 五环振荡器 | 第82-83页 |
| 4.4 本章小结 | 第83-85页 |
| 第5章 柔性二硫化钼光存储及光神经形态器件 | 第85-103页 |
| 5.1 引言 | 第85-86页 |
| 5.2 柔性二硫化钼器件光存储及光探测功能 | 第86-93页 |
| 5.2.1 柔性二硫化钼光存储及光神经形态器件结构 | 第86-87页 |
| 5.2.2 栅压调控器件非易失和易失区域 | 第87-88页 |
| 5.2.3 非易失区域的光存储及电擦除 | 第88-90页 |
| 5.2.4 易失区域的光探测效应 | 第90-93页 |
| 5.2.5 器件在大气环境中的存储情况 | 第93页 |
| 5.3 柔性二硫化钼器件光神经突触模拟 | 第93-102页 |
| 5.3.1 短程和长程记忆可塑性 | 第94-95页 |
| 5.3.2 双脉冲易化效应(PPF) | 第95-96页 |
| 5.3.3 “学习经验式”行为 | 第96-98页 |
| 5.3.4 增强抑制过程的线性度调节 | 第98-99页 |
| 5.3.5 光突触器件的柔性表征 | 第99-101页 |
| 5.3.6 巴普洛夫狗实验模拟 | 第101-102页 |
| 5.4 本章小结 | 第102-103页 |
| 第6章 总结与展望 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-119页 |
| 个人简历及科研成果 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
