光波导环形谐振腔生化液体传感器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 基于光波导环形谐振腔的生化传感技术 | 第14-20页 |
| 1.2.1 光波导生化传感器 | 第14-17页 |
| 1.2.2 光波导环形谐振腔 | 第17-19页 |
| 1.2.3 基于光波导环形谐振腔的生化传感技术 | 第19-20页 |
| 1.3 国内外研究进展 | 第20-21页 |
| 1.4 本论文的研究目标与主要内容 | 第21-22页 |
| 第二章 光波导环形谐振腔的理论基础 | 第22-34页 |
| 2.1 矩形光波导理论 | 第22-25页 |
| 2.1.1 马卡梯里方法 | 第23页 |
| 2.1.2 有效折射率法 | 第23-25页 |
| 2.2 矩形波导的设计 | 第25-28页 |
| 2.2.1 单模波导和双模波导的设计 | 第26页 |
| 2.2.2 可检测的溶液折射率范围 | 第26-28页 |
| 2.3 TMI的设计 | 第28-32页 |
| 2.3.1 直波导与弯曲波导间的耦合理论 | 第28-31页 |
| 2.3.2 TMI原理 | 第31-32页 |
| 2.3.3 TMI参数设计 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 光波导环形谐振腔的设计 | 第34-43页 |
| 3.1 基本概念 | 第34-36页 |
| 3.1.1 基本结构 | 第34-35页 |
| 3.1.2 环形谐振腔的主要特征参数 | 第35-36页 |
| 3.2 弯曲损耗的计算 | 第36-39页 |
| 3.3 光波导环形谐振腔的设计 | 第39-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 光波导环形谐振腔的工艺制作 | 第43-51页 |
| 4.1 工艺制作流程 | 第43-44页 |
| 4.2 光刻掩膜版的设计 | 第44-45页 |
| 4.3 器件的主要制作工艺 | 第45-50页 |
| 4.3.1 波导芯层的制备 | 第45-46页 |
| 4.3.2 环形谐振腔的图案形成 | 第46-48页 |
| 4.3.3 光波导刻蚀及上包层的制作 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 光波导环形谐振腔的传感性能测试 | 第51-61页 |
| 5.1 光学性能测试 | 第51-56页 |
| 5.1.1 通光测试 | 第51-52页 |
| 5.1.2 器件谐振特性的测试 | 第52-56页 |
| 5.2 葡萄糖溶液传感性能测试 | 第56-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 总结 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 个人简介 | 第67-68页 |
