| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-23页 |
| 1.1 化学机械抛光 | 第9-18页 |
| 1.1.1 化学机械抛光的发展 | 第9-10页 |
| 1.1.2 化学机械抛光的组成 | 第10-12页 |
| 1.1.3 抛光浆料及调配 | 第12-15页 |
| 1.1.3.1 抛光磨料的性质 | 第12-14页 |
| 1.1.3.2 抛光浆料的调配 | 第14-15页 |
| 1.1.4 磁流变抛光 | 第15-17页 |
| 1.1.5 光学玻璃的性质及用途 | 第17-18页 |
| 1.2 亚微米及纳米CeO_2的合成方法 | 第18-21页 |
| 1.2.1 化学沉淀法 | 第18-19页 |
| 1.2.2 溶胶-凝胶 (Sol-Gel)法 | 第19页 |
| 1.2.3 微乳液法 | 第19-20页 |
| 1.2.4 水热法 | 第20-21页 |
| 1.3 本论文的研究意义和研究内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 本论文的研究意义 | 第21-22页 |
| 1.3.2 本论文的研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 粒径可控氧化铈的合成及其抛光性能研究 | 第23-37页 |
| 2.1 引言 | 第23-24页 |
| 2.2 实验部分 | 第24-25页 |
| 2.2.1 仪器与试剂 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验方法 | 第25页 |
| 2.2.3 抛光性能测试 | 第25页 |
| 2.2.4 样品的表征 | 第25页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第25-36页 |
| 2.3.1 前驱体的表征分析 | 第25-28页 |
| 2.3.1.1 XRD分析 | 第25-26页 |
| 2.3.1.2 SEM及粒度分析 | 第26-28页 |
| 2.3.2 前驱体颗粒形成的机理研究 | 第28-29页 |
| 2.3.3 煅烧产品的物性分析 | 第29-32页 |
| 2.3.3.1 不同温度煅烧产品的SEM及粒度 | 第29-30页 |
| 2.3.3.2 前驱体的热重-差热曲线 | 第30页 |
| 2.3.3.3 煅烧产物的XRD分析 | 第30-31页 |
| 2.3.3.4 不同气氛煅烧下CeO_2粉体的XPS谱图 | 第31-32页 |
| 2.3.4 抛光性能评价 | 第32-36页 |
| 2.3.4.1 煅烧温度的影响 | 第32-33页 |
| 2.3.4.2 分散剂的影响 | 第33页 |
| 2.3.4.3 pH值的影响 | 第33-34页 |
| 2.3.4.4 煅烧气氛的影响 | 第34-35页 |
| 2.3.4.5 玻璃表面质量检测 | 第35-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 以碱式碳酸铈为前驱体制备微纳米氧化铈及抛光性能研究 | 第37-47页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 实验部分 | 第38-39页 |
| 3.2.1 仪器与试剂 | 第38页 |
| 3.2.2 氧化铈磨料的合成 | 第38-39页 |
| 3.2.3 氧化铈磨料对K9玻璃的抛光试验 | 第39页 |
| 3.2.4 样品的表征 | 第39页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第39-46页 |
| 3.3.1 前驱体及球磨产物的表征分析 | 第39-40页 |
| 3.3.2 前驱体不球磨与球磨对产品的影响 | 第40页 |
| 3.3.3 不同温度煅烧产物的XRD、粒度和SEM分析 | 第40-43页 |
| 3.3.4 前驱体球磨中盐对产品的影响 | 第43-45页 |
| 3.3.5 后处理介质对产品影响 | 第45页 |
| 3.3.6 玻璃表面质量检测 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 磁流变抛光浆料的调配及抛光性能 | 第47-56页 |
| 4.1 引言 | 第47-48页 |
| 4.2 实验部分 | 第48-49页 |
| 4.2.1 仪器与试剂 | 第48页 |
| 4.2.2 纳米氧化铈抛光粉 | 第48页 |
| 4.2.3 磁流变抛光液的配制 | 第48页 |
| 4.2.4 磁流变抛光液性能检测 | 第48-49页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第49-55页 |
| 4.3.1 纳米氧化铈抛光粉SEM及粒度分析 | 第49页 |
| 4.3.2 pH值对纳米氧化铈抛光粉Zeta电位的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.3 分散剂对纳米氧化铈抛光粉Zeta电位的影响 | 第50-52页 |
| 4.3.4 添加剂对浆料悬浮稳定性的影响 | 第52页 |
| 4.3.5 磁流变液的SEM | 第52-53页 |
| 4.3.6 粘度测试 | 第53-54页 |
| 4.3.7 磁流变抛光液对K9玻璃抛光效果 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第64页 |
