| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 压电陶瓷驱动器的分类及特点 | 第9-13页 |
| 1.2.1 压电超声波驱动器 | 第9-11页 |
| 1.2.2 压电微位移驱动器 | 第11页 |
| 1.2.3 压电惯性驱动器 | 第11-12页 |
| 1.2.4 步进式压电驱动器 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外步进式压电驱动器的研究进展 | 第13-19页 |
| 1.4 本论文研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动器的基本理论及驱动原理 | 第21-27页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 压电陶瓷的工作原理及特性 | 第21-25页 |
| 2.2.1 压电效应与逆压电效应 | 第21-22页 |
| 2.2.2 力学特性 | 第22-23页 |
| 2.2.3 电学特性 | 第23页 |
| 2.2.4 响应特性 | 第23-24页 |
| 2.2.5 迟滞和蠕变特性 | 第24-25页 |
| 2.2.6 分辨率和重复性 | 第25页 |
| 2.3 压电叠堆的使用 | 第25-27页 |
| 第三章 步进式精密直线压电驱动器结构设计及有限元分析 | 第27-49页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 步进式直线压电驱动器的驱动原理 | 第27-28页 |
| 3.3 步进式直线压电驱动器的整体结构 | 第28-30页 |
| 3.4 箝位机构 | 第30-38页 |
| 3.4.1 驱动器箝位机构的结构设计 | 第31-32页 |
| 3.4.2 条形压电陶瓷叠堆 | 第32-33页 |
| 3.4.3 柔性箝位片参数设计和有限元分析 | 第33-38页 |
| 3.5 驱动机构 | 第38-40页 |
| 3.5.1 驱动机构设计 | 第38-39页 |
| 3.5.2 环形压电陶瓷堆 | 第39-40页 |
| 3.6 柔性机构 | 第40-46页 |
| 3.6.1 柔性铰链的概述 | 第40-41页 |
| 3.6.2 柔性铰链的分类、特点 | 第41页 |
| 3.6.3 柔性铰链的材料选择 | 第41-42页 |
| 3.6.4 柔性铰链运行原理 | 第42-43页 |
| 3.6.5 柔性铰链的参数设计及有限元分析 | 第43-46页 |
| 3.7 输出机构 | 第46-47页 |
| 3.8 导向机构 | 第47页 |
| 3.9 驱动器设计过程中其他的考虑因素 | 第47-48页 |
| 3.9.1 预紧力 | 第47页 |
| 3.9.2 机械加工、安装及材料的选择 | 第47-48页 |
| 3.10 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 精密直线压电驱动器的动力学仿真分析 | 第49-67页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 压电驱动器各机构的动力学分析 | 第49-56页 |
| 4.2.1 压电陶瓷堆模型 | 第49-52页 |
| 4.2.2 箝位机构的动力学分析 | 第52-54页 |
| 4.2.3 驱动-柔性机构的动力学模型 | 第54-56页 |
| 4.2.4 输出轴系统的分析 | 第56页 |
| 4.3 系统的摩擦模型 | 第56-58页 |
| 4.4 系统的仿真模型 | 第58-60页 |
| 4.5 输入信号的优化 | 第60-62页 |
| 4.6 驱动器的工作特性分析 | 第62-65页 |
| 4.6.1 运行方式 | 第62-64页 |
| 4.6.2 运行速度与频率的关系 | 第64页 |
| 4.6.3 运行速度与负载的关系 | 第64-65页 |
| 4.6.4 驱动器的箝位力 | 第65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-67页 |
| 结论与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |