| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 非制冷红外探测器概述及发展趋势 | 第11-12页 |
| 1.3 红外探测器测试技术的研究现状及发展动态 | 第12-13页 |
| 1.4 非制冷红外探测器测试技术的研究意义 | 第13-14页 |
| 1.5 本论文的结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 红外探测器测试系统工作原理及测试系统设计要求 | 第15-27页 |
| 2.1 非制冷红外焦平面探测器芯片的测试依据 | 第15-19页 |
| 2.1.1 噪声测试 | 第15-16页 |
| 2.1.1.1 RMS噪声测试 | 第15-16页 |
| 2.1.1.2 空间噪声测试 | 第16页 |
| 2.1.1.3 固定图像噪声测试 | 第16页 |
| 2.1.2 响应率测试 | 第16-17页 |
| 2.1.3 噪声等效温差测试 | 第17-18页 |
| 2.1.4 动态范围测试 | 第18页 |
| 2.1.5 盲元测试 | 第18-19页 |
| 2.2 非制冷红外探测器测试系统的工作原理 | 第19-25页 |
| 2.2.1 半自动真空探针台PAV200 | 第19-23页 |
| 2.2.1.1 PAV200概述 | 第19-22页 |
| 2.2.1.2 PAV200的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 测试系统电路模块的工作原理 | 第23-25页 |
| 2.3 测试系统设计要求 | 第25-26页 |
| 2.3.1 测试功能 | 第25页 |
| 2.3.2 工作方式 | 第25-26页 |
| 2.3.3 测试环境 | 第26页 |
| 2.3.4 测试结果处理 | 第26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 非制冷红外探测器自动测试方案设计 | 第27-46页 |
| 3.1 红外探测器自动测试系统的工作原理及结构设计 | 第27-29页 |
| 3.1.1 测试系统的工作原理 | 第27页 |
| 3.1.2 测试系统的结构设计 | 第27-28页 |
| 3.1.3 测试系统的功能设计 | 第28-29页 |
| 3.2 测试系统的硬件电路设计 | 第29-37页 |
| 3.2.1 电源部分的设计 | 第30-32页 |
| 3.2.2 数字驱动部分设计 | 第32-33页 |
| 3.2.3 A/D模块设计 | 第33-37页 |
| 3.2.3.1 单端转差分网络设计 | 第34-35页 |
| 3.2.3.2 AD量化部分设计 | 第35-36页 |
| 3.2.3.3 数据采集部分设计 | 第36-37页 |
| 3.3 真空探针台中探针卡的设计 | 第37-41页 |
| 3.3.1 探针卡的整体设计 | 第38-39页 |
| 3.3.2 偏置电压部分设计 | 第39-40页 |
| 3.3.3 探针卡接.设计 | 第40-41页 |
| 3.4 自动测试系统的软件设计 | 第41-44页 |
| 3.4.1 软件平台的功能设计 | 第42-43页 |
| 3.4.2 自动测试流程设计 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 自动测试系统的实现及验证 | 第46-60页 |
| 4.1 测试电路的调试 | 第46-50页 |
| 4.1.1 电源部分的调试 | 第46-48页 |
| 4.1.2 数字驱动部分的调试 | 第48-49页 |
| 4.1.3 AD转换部分的调试 | 第49-50页 |
| 4.2 测试实验与数据分析 | 第50-55页 |
| 4.2.1 噪声测试 | 第50-51页 |
| 4.2.2 响应率及NETD测试 | 第51-53页 |
| 4.2.3 原始图像及盲元测试 | 第53-55页 |
| 4.3 封装后测试与验证 | 第55-57页 |
| 4.3.1 封装后的测试 | 第55-56页 |
| 4.3.2 封装前后的测试结果对比 | 第56-57页 |
| 4.4 结论分析 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第71-72页 |