基于FPGA的相位光栅干涉位移传感器信号处理系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8页 |
| 1.2 精密位移测量技术现状 | 第8-11页 |
| 1.3 传感器信号处理系统现状与发展趋势 | 第11-12页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 相位光栅干涉位移传感器原理与参数设计 | 第13-18页 |
| 2.1 光栅干涉测量原理 | 第13-14页 |
| 2.2 相位光栅干涉传感器信号处理系统参数 | 第14-17页 |
| 2.3 本章小结 | 第17-18页 |
| 3 相位光栅干涉位移传感器信号处理系统 | 第18-28页 |
| 3.1 信号处理系统整体设计 | 第18页 |
| 3.2 模拟信号调理电路 | 第18-27页 |
| 3.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 4 FPGA 数据采集与控制系统 | 第28-49页 |
| 4.1 FPGA 技术 | 第28-29页 |
| 4.2 FPGA 最小系统 | 第29-32页 |
| 4.3 A/D 转换 | 第32-34页 |
| 4.4 正交解码计数 | 第34-38页 |
| 4.5 PCI 接口设计 | 第38-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 滞回区间补偿与细分误差分析 | 第49-55页 |
| 5.1 滞回区间补偿 | 第49-51页 |
| 5.2 正切法细分误差分析 | 第51-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 6 相位光栅干涉位移传感器实验 | 第55-62页 |
| 6.1 实验设计 | 第55-57页 |
| 6.2 实验结果分析 | 第57-61页 |
| 6.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 7 总结与展望 | 第62-63页 |
| 7.1 全文总结 | 第62页 |
| 7.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录Ⅰ攻读硕士期间发表的论文 | 第67页 |
