电容式加速度计性能影响因素研究

摘要	第4-6页
ABSTRACT	第6-7页
第一章 绪论	第10-16页
1.1 加速度计概述	第10-11页
1.2 加速度计研究背景及发展现状	第11-14页
1.3 本文主要研究内容	第14-16页
第二章 电容式加速度计系统及性能影响因素分析	第16-30页
2.1 电容式加速度计系统模型分析	第16-21页
2.2 电容式加速度计主要性能参数	第21-26页
2.3 电容式加速度计性能影响因素量化分析	第26-28页
2.4 本章小结	第28-30页
第三章 电容式加速度计敏感结构有限元建模仿真	第30-43页
3.1 敏感结构的仿真验证	第30-34页
3.2 敏感结构有限元建模	第34-38页
3.3 敏感结构热机械应力仿真	第38-42页
3.4 本章小结	第42-43页
第四章 电容式加速度计系统温度特性研究	第43-50页
4.1 温度补偿方案设计	第43页
4.2 电容检测电路部分	第43-45页
4.3 数字解调电路部分	第45页
4.4 检测电路幅度和相移影响	第45-48页
4.5 温度补偿结果分析	第48-49页
4.6 本章小结	第49-50页
第五章 电容式加速度计性能测试	第50-62页
5.1 测试系统	第50-51页
5.2 加速度计灵敏度测试	第51-57页
5.3 加速度计分辨率测试	第57-59页
5.4 加速度计温度特性测试	第59-61页
5.5 本章小结	第61-62页
结论与展望	第62-64页
参考文献	第64-69页
致谢	第69-70页
作者简介	第70页