| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号说明 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-22页 |
| 1.1 研究背景与动机 | 第16页 |
| 1.2 从MEMS到NEMS | 第16-18页 |
| 1.3 纳米线弯曲振动的测量 | 第18-19页 |
| 1.4 选题依据和研究内容 | 第19-22页 |
| 第2章 机械振子的力学响应和传感机制 | 第22-33页 |
| 2.1 微纳机械振子的结构与材料 | 第22-23页 |
| 2.2 悬臂梁的力学响应 | 第23-28页 |
| 2.3 悬臂梁传感器的基本传感机制 | 第28-33页 |
| 第3章 机械振子振动的驱动和测量 | 第33-47页 |
| 3.1 机械振子振动的On-chip驱动 | 第33-36页 |
| 3.2 机械振子振动的Off-chip驱动 | 第36-37页 |
| 3.3 机械振子振动的On-chip测量 | 第37-43页 |
| 3.4 机械振子振动的Off-chip测量 | 第43-47页 |
| 第4章 微纳机械振子弯曲振动模式的应用及测量 | 第47-58页 |
| 4.1 微纳机械振子弯曲振动模式的参数 | 第47-48页 |
| 4.2 微纳机械振子矢量力测量 | 第48-52页 |
| 4.3 微纳机械振子弯曲振动模式间的耦合 | 第52-53页 |
| 4.4 微纳机械振子弯曲振动模式的其他研究进展 | 第53-58页 |
| 第5章 微透镜光纤干涉仪微纳机械振子测量的物理分析 | 第58-70页 |
| 5.1 微透镜光纤干涉仪 | 第58-59页 |
| 5.2 微透镜光纤光学测量原理 | 第59-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 微纳机械振子弯曲振动的光学测量 | 第70-82页 |
| 6.1 研究背景 | 第70-71页 |
| 6.2 根据微纳机械振子弯曲振动方向优化微透镜光纤干涉仪的工作点 | 第71-74页 |
| 6.3 数值结果 | 第74-80页 |
| 6.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 第7章 微透镜光纤干涉仪测定微纳机械振子弯曲振动的取向 | 第82-93页 |
| 7.1 研究背景 | 第82-83页 |
| 7.2 微纳机械振子弯曲振动方向的光学测量方案 | 第83-89页 |
| 7.3 实验结果 | 第89-92页 |
| 7.4 本章小结 | 第92-93页 |
| 第8章 总结与展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-108页 |
| 附录A 光散射相关分析 | 第108-121页 |
| A.1 高斯光束 | 第108页 |
| A.2 单模光纤 | 第108-113页 |
| A.3 微纳机械振子米氏散射 | 第113-121页 |
| 附录B Mie散射的Matlab算法 | 第121-126页 |
| 附录C 微纳机械振子弯曲振动的光学测量优化Matlab程序 | 第126-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第131页 |
