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反应溅射及共溅射制备WS2/MoS2/C复合薄膜

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第12-35页
    1.1 引言第12页
    1.2 磨损第12-17页
        1.2.1 磨料磨损第13-15页
        1.2.2 黏着磨损第15-16页
        1.2.3 疲劳磨损第16-17页
        1.2.4 腐蚀磨损第17页
    1.3 润滑第17-19页
        1.3.1 固体润滑剂的定义第17-18页
        1.3.2 固体润滑剂的分类第18页
        1.3.3 固体润滑剂的使用第18-19页
    1.4 类金刚石薄膜(DLC)第19-22页
        1.4.1 类金刚石薄膜(DLC)的摩擦学性能第19-20页
        1.4.2 类金刚石薄膜(DLC)的制备第20-21页
        1.4.3 类金刚石薄膜DLC 的摩擦学原理第21-22页
    1.5 MoS_2 基薄膜第22-27页
        1.5.1 MoS_2 基薄膜的摩擦学性能第22-23页
        1.5.2 MoS_2 薄膜的制备第23-24页
        1.5.3 MoS_2 薄膜转移膜与基体作用机理第24-27页
    1.6 磁控溅射第27-34页
        1.6.1 溅射镀膜原理第28-30页
        1.6.2 溅射镀膜工艺第30-31页
        1.6.3 磁控溅射镀膜第31-34页
    1.7 本课题开展的意义第34-35页
第二章 W52/MoS_2/C 复合薄膜的制备第35-43页
    2.1 引言第35页
    2.2 方案设计及准备第35-37页
        2.2.1 镀膜实验方案设计第35-36页
        2.2.2 靶材制备第36页
        2.2.3 基体预处理第36-37页
    2.3 溅射流程第37-42页
        2.3.1 溅射设备第37-38页
        2.3.2 溅射流程第38-39页
        2.3.3 溅射工艺参数第39-42页
    2.4 本章小结第42-43页
第三章 反应溅射制备W52/MoS_2/C 复合薄膜结构与性能测试第43-58页
    3.1 引言第43页
    3.2 薄膜的表征、测试及分析第43-48页
        3.2.1 XRD、EDX 分析第43-46页
        3.2.2 FESEM 分析第46-48页
    3.3 薄膜的性能测试第48-57页
        3.3.1 薄膜的结合力测试第48-50页
        3.3.2 薄膜的硬度测试第50-52页
        3.3.3 薄膜的摩擦磨损性能测试第52-57页
    3.4 本章小结第57-58页
第四章 共溅射制备W52/MoS_2/C 复合薄膜结构与性能测试第58-66页
    4.1 引言第58页
    4.2 薄膜的表征、测试及分析第58-60页
        4.2.1 XRD、EDX 分析第58-60页
    4.3 薄膜的性能测试第60-65页
        4.3.1 薄膜的结合力测试第60-62页
        4.3.2 薄膜的硬度测试第62-63页
        4.3.3 薄膜的摩擦系数测试第63-65页
    4.4 本章小结第65-66页
第五章 结论第66-68页
参考文献第68-75页
致谢第75-76页
附录第76-78页

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