| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 透明导电氧化物(TCO)薄膜简介 | 第12页 |
| 1.2 TCO薄膜分类 | 第12-14页 |
| 1.2.1 SnO_2基薄膜 | 第12-13页 |
| 1.2.2 In2O_3基薄膜 | 第13-14页 |
| 1.2.3 氧化锌基薄膜 | 第14页 |
| 1.3 TCO薄膜的应用 | 第14-16页 |
| 1.3.1 ITO薄膜的主要应用 | 第15页 |
| 1.3.2 ZnO薄膜的主要应用 | 第15-16页 |
| 1.4 ZnO基透明导电膜的研究现状 | 第16页 |
| 1.5 ZnO基透明导电膜制备方法 | 第16-18页 |
| 1.5.1 水解法 | 第16-17页 |
| 1.5.2 溶胶-凝胶法 | 第17页 |
| 1.5.3 水热法 | 第17页 |
| 1.5.4 气相热分解法 | 第17页 |
| 1.5.5 喷雾热分解法 | 第17-18页 |
| 1.5.6 磁控溅射法 | 第18页 |
| 1.6 课题的研究意义 | 第18-19页 |
| 1.7 创新点 | 第19页 |
| 1.8 实验方案和研究内容 | 第19-22页 |
| 1.8.1 实验方案 | 第19-20页 |
| 1.8.2 掺杂ZnO薄膜的制备 | 第20页 |
| 1.8.3 反应条件的选择及反应机理的研究 | 第20页 |
| 1.8.4 反应机理的验证 | 第20-22页 |
| 第二章 实验与研究方法 | 第22-27页 |
| 2.1 溶胶凝胶法制备ZnO基透明导电膜的优缺点 | 第22页 |
| 2.1.1 溶胶-凝胶法的优点 | 第22页 |
| 2.1.2 溶胶-凝胶法的缺点 | 第22页 |
| 2.2 制备ZnO基透明导电膜的试剂及原料 | 第22-23页 |
| 2.3 实验设备与器材 | 第23-24页 |
| 2.4 实验表征设备 | 第24页 |
| 2.5 掺杂ZnO基透明导电膜薄膜的制备 | 第24-27页 |
| 2.5.1 掺杂溶胶的制备 | 第24-25页 |
| 2.5.2 玻璃片的清洗 | 第25页 |
| 2.5.3 提拉法制备掺杂ZnO薄膜 | 第25-26页 |
| 2.5.4 薄膜的热处理 | 第26-27页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第27-93页 |
| 3.1 ZnO薄膜结构、光学和电学性能分析涉及到的方程式 | 第27-28页 |
| 3.1.1 ZnO薄膜结构分析涉及到的方程式 | 第27-28页 |
| 3.1.2 ZnO薄膜光学性能分析涉及到的方程式 | 第28页 |
| 3.1.3 ZnO薄膜电学性能分析涉及到的方程式 | 第28页 |
| 3.2 Al掺杂ZnO(AZO)透明导电膜 | 第28-40页 |
| 3.2.1 Al掺杂浓度AZO薄膜的结构、表面形貌、光学和电学性能的影响 | 第28-32页 |
| 3.2.1.1 不同退火温度对AZO薄膜的结构、表面形貌、光电性能的影响 | 第28-29页 |
| 3.2.1.2 退火温度对AZO薄膜的电学性能的影响 | 第29-31页 |
| 3.2.1.3 不同的溶胶浓度对AZO薄膜的结构、表面形貌、光电性能的影响 | 第31页 |
| 3.2.1.4 AZO薄膜实验小结 | 第31-32页 |
| 3.2.2 不同退火温度对AZO薄膜的结构、表面形貌和光电性能的影响 | 第32-36页 |
| 3.2.2.1 退火温度对AZO薄膜的结构旳影响 | 第32-33页 |
| 3.2.2.2 退火温度对AZO薄膜的表面形貌的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2.3 退火温度对AZO薄膜旳光学性能的影响 | 第34-35页 |
| 3.2.2.4 退火温度对AZO薄膜的电学性能的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.3 不同的溶胶浓度对AZO薄膜的结构、表面形貌和光电性能的影响 | 第36-40页 |
| 3.2.3.1 溶胶浓度对AZO薄膜的结构的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.3.2 溶胶浓度对AZO薄膜的表面形貌的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.3.3 溶胶浓度对AZO薄膜的光学性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.3.4 溶胶浓度对AZO薄膜的电学性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.4 AZO薄膜实验小结 | 第40页 |
| 3.3 Sn掺杂ZnO(TZO)透明导电膜 | 第40-52页 |
| 3.3.1 Sn掺杂浓度TZO薄膜的结构、表面形貌、光学和电学性能的影响 | 第40-44页 |
| 3.3.2 不同温度对TZO薄膜的结构、表面形貌、光电性能的影响 | 第44-48页 |
| 3.3.3 不同的溶胶浓度对TZO薄膜的结构、表面形貌、光电性能的影响 | 第48-52页 |
| 3.3.4 TZO实验小结 | 第52页 |
| 3.4 AZO薄膜和TZO薄膜的结构、表面形貌和光电性能对比 | 第52-60页 |
| 3.4.1 AZO薄膜和TZO薄膜的结构对比 | 第52-54页 |
| 3.4.2 AZO薄膜和TZO薄膜的表面形貌对比 | 第54-56页 |
| 3.4.3 AZO薄膜和TZO薄膜的元素分析 | 第56-57页 |
| 3.4.4 AZO和TZO薄膜的电学性能对比 | 第57-58页 |
| 3.4.5 AZO和TZO薄膜的光学性能对比 | 第58-60页 |
| 3.4.6 Al、Sn单一掺杂ZnO薄膜的一些对比结论 | 第60页 |
| 3.5 Al、Sn共掺杂ZnO(ATZO)透明导电膜的特性研究 | 第60-75页 |
| 3.5.1 Sn掺杂浓度对ATZO薄膜性能的影响 | 第61-71页 |
| 3.5.2 不同退火温度对ATZO薄膜的结构、表面形貌、光电性能的影响 | 第71-75页 |
| 3.6 F、Sn共掺杂ZnO(FTZO)透明导电膜的特性研究 | 第75-93页 |
| 3.6.1 F掺杂浓度对FTZO薄膜性能影响 | 第75-86页 |
| 3.6.2 不同退火温度对FTZO薄膜的结构、表面形貌、光电性能的影响 | 第86-93页 |
| 结论与展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-103页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105页 |
