垂直扫描白光干涉表面形貌测量软件系统研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第10-17页
1.1 课题来源	第10页
1.2 课题的目的和意义	第10-11页
1.3 表面形貌测量的发展概况	第11-15页
1.4 本文的主要研究内容	第15-17页
2 垂直扫描白光干涉表面形貌测量系统原理	第17-22页
2.1 垂直扫描白光干涉测量原理	第17-19页
2.2 垂直扫描白光干涉表面形貌轮廓仪整体构架	第19-21页
2.3 本章小结	第21-22页
3 三维形貌恢复算法	第22-30页
3.1 现有恢复算法分析	第22-26页
3.2 极值法与相移法结合的形貌恢复算法	第26-29页
3.3 本章小结	第29-30页
4 三维形貌修复算法	第30-38页
4.1 表面形貌恢复失效机理	第30-33页
4.2 干涉质量评价模型建立	第33-35页
4.3 基于干涉质量矩阵的修正算法	第35-37页
4.4 本章小结	第37-38页
5 软件系统设计	第38-48页
5.1 软件系统的整体结构及界面	第38-42页
5.2 软件系统控制策略与功能模块	第42-47页
5.3 本章小结	第47-48页
6 系统测试与应用实验	第48-58页
6.1 系统精度测试	第48-53页
6.2 测试实例	第53-57页
6.3 本章小结	第57-58页
7 总结与展望	第58-60页
7.1 总结	第58页
7.2 展望	第58-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-64页
附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文	第64页