基于半导体激光器干涉测量长度方法的研究

致谢	第1-6页
摘要	第6-7页
ABSTRACT	第7-10页
1 绪论	第10-18页
·问题的提出背景	第10-11页
·研究意义和研究目标	第11页
·几种光学测量长度的方法	第11-14页
·激光干涉测量方法	第12-13页
·激光三角法测量方法	第13页
·激光多普勒频移测量方法	第13-14页
·激光干涉测长系统的研究现状	第14-17页
·研究工作的内容	第17-18页
2 基于半导体激光器干涉测长系统的设计	第18-36页
·基于半导体激光器十涉测长系统的总体设计	第18-20页
·系统的测量原理	第19-20页
·基于半导体激光器干涉测长系统的光路设计	第20-24页
·主要光学器件	第20-22页
·影响系统测量精度和范围的因素	第22-24页
·基于半导体激光器干涉测长系统的硬件设计	第24-27页
·传感器和变换器	第25页
·信号处理电路	第25-26页
·数据采集卡	第26页
·硬件配置管理软件	第26-27页
·基于半导体激光器干涉测长系统的软件设计	第27-36页
·虚拟仪器技术的简介	第27-28页
·数据处理的程序设计	第28-36页
3 实验结果与数据分析	第36-46页
·实验结果与数据分析	第36-41页
·误差分析	第41-46页
·系统误差	第41-42页
·阿贝误差和余弦误差	第42-44页
·环境误差	第44-46页
4 总结与展望	第46-47页
参考文献	第47-49页
作者简历	第49-51页
学位论文数据集	第51页