| 目 录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-14页 |
| 1.1 引言 | 第6页 |
| 1.2 压电泵的国内外研究现状 | 第6-12页 |
| 1.2.1 压电泵的特点 | 第6-7页 |
| 1.2.2 压电泵的国内外研究现状 | 第7-12页 |
| 1.3 压电泵的应用与发展 | 第12页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 压电振子的振动分析及测试 | 第14-28页 |
| 2.1 压电陶瓷与压电效应 | 第14-18页 |
| 2.1.1 压电效应与逆压电效应 | 第14-15页 |
| 2.1.2 压电陶瓷 | 第15-18页 |
| 2.2 复合式压电振子振动的理论分析 | 第18-22页 |
| 2.2.1 圆形压电复合层薄板的曲面微分方程 | 第18-20页 |
| 2.2.2 圆形压电复合层薄板中性面位置的确定 | 第20-22页 |
| 2.3 圆形复合压电振子变形量实验测试 | 第22-27页 |
| 2.3.1 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.3.2 不同波形信号对压电泵输出量的影响 | 第24页 |
| 2.3.3 电压及频率对变形量的影响 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 压电泵输出压力及流量分析与试验 | 第28-41页 |
| 3.1 单腔体悬臂梁阀压电泵的样机制造 | 第28-29页 |
| 3.2 悬臂梁阀压电泵的实验方案 | 第29-30页 |
| 3.2.1 实验测试方案及目的 | 第29-30页 |
| 3.2.2 实验设备 | 第30页 |
| 3.3 悬臂梁阀和阀孔对压电泵性能的影响 | 第30-33页 |
| 3.4 单腔悬臂梁阀压电泵性能的实验 | 第33-36页 |
| 3.4.1 悬臂梁阀式压电泵的压力、流量－电压特性 | 第33-34页 |
| 3.4.2 单腔悬臂梁式压电泵的流量、压力－频率特性 | 第34-36页 |
| 3.4.3 输出端背压对流量影响的关系曲线 | 第36页 |
| 3.5 阀孔结构及其出流特性 | 第36-38页 |
| 3.6 悬臂梁阀结构及其出流特性 | 第38-40页 |
| 3.7 结论 | 第40-41页 |
| 第四章 压电泵在芯片冷却中应用的试验研究 | 第41-55页 |
| 4.1 ＣＰＵ 的冷却工作现状及比较 | 第41-44页 |
| 4.1.1 ＣＰＵ 的工作情况 | 第41-43页 |
| 4.1.2 ＣＰＵ 冷却的现状 | 第43-44页 |
| 4.2 热平衡计算 | 第44-46页 |
| 4.3 两腔体悬臂梁阀压电泵输出压力与流量的实验测试 | 第46-47页 |
| 4.4 芯片水冷系统的设计与实验 | 第47-51页 |
| 4.4.1 水冷系统基本原理 | 第47-48页 |
| 4.4.2 冷却液的选择与测试 | 第48-49页 |
| 4.4.3 换热器的选择与测试 | 第49-51页 |
| 4.5 水冷系统比较实验研究 | 第51-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 论文总结 | 第55页 |
| 5.2 论文展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 摘 要 | 第63-66页 |
| Ａｂｓｔｒａｃｔ | 第66页 |
