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基于COMSOL的电沉积及光电复合沉积的仿真研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第12-19页
    1.1 多能场复合电沉积加工技术第12-14页
        1.1.1 微细电沉积加工技术第12-13页
        1.1.2 多能场复合电沉积技术第13-14页
    1.2 激光电化学复合沉积技术第14-16页
        1.2.1 激光电化学复合沉积技术的原理和特点第14-15页
        1.2.2 激光电化学复合沉积技术的发展及研究成果第15-16页
    1.3 数值模拟研究的发展第16-17页
    1.4 课题的来源、意义及主要内容第17-19页
        1.4.1 课题的来源和意义第17-18页
        1.4.2 本文研究内容第18-19页
第二章 激光电化学复合沉积的机理研究第19-27页
    2.1 引言第19页
    2.2 电化学沉积的相关基础理论第19-22页
        2.2.1 电化学势第19页
        2.2.2 电极/溶液界面双电层第19-20页
        2.2.3 电极反应过程第20-21页
        2.2.4 电极电位和电极极化第21-22页
        2.2.5 离子匮乏区第22页
    2.3 传质过程的电化学反应步骤第22-24页
        2.3.1 对流传质流量第23页
        2.3.2 扩散传质流量第23页
        2.3.3 电迁移传质流量第23-24页
        2.3.4 总传质流量第24页
    2.4 电极过程的电化学反应步骤第24-25页
        2.4.1 前置转化步骤第24页
        2.4.2 电荷转化步骤第24-25页
        2.4.3 形成晶体步骤第25页
    2.5 激光对电沉积的影响第25-26页
        2.5.1 激光热效应理论第25-26页
        2.5.2 激光强力搅拌效应和应力冲击效应理论第26页
    2.6 本章小结第26-27页
第三章 基于COMSOL的微细电化学沉积的仿真研究第27-40页
    3.1 引言第27页
    3.2 COMSOL Multiphysics软件简介第27页
    3.3 仿真模型和约束条件设置第27-29页
    3.4 仿真结果及讨论第29-39页
        3.4.1 电泳通量和扩散通量研究第29-30页
        3.4.2 离子匮乏区第30-31页
        3.4.3 电势对沉积速率的影响第31-33页
        3.4.4 沉积离子浓度对沉积速率的影响第33-34页
        3.4.5 氢离子浓度对沉积速率的影响第34-35页
        3.4.6 电极间隙对沉积速率的影响第35-36页
        3.4.7 脉冲电源对沉积速率的影响第36-37页
        3.4.8 温度对沉积速率的影响第37-38页
        3.4.9 流速对沉积速率的影响第38-39页
    3.5 本章小结第39-40页
第四章 基于人工神经网络和遗传算法的沉积速率工艺参数优化第40-52页
    4.1 引言第40页
    4.2 神经网络模型第40-48页
        4.2.1 样本数据的收集及数据处理第40-42页
        4.2.2 构造BP人工神经网络模型第42-43页
        4.2.3 BP神经网络的MATLAB程序设计第43-48页
    4.3 遗传算法与参数优化第48-51页
        4.3.1 基于神经网络的遗传算法优化方法第48页
        4.3.2 遗传算法函数构造第48-50页
        4.3.3 软件开发设计第50-51页
    4.4 本章小结第51-52页
第五章 激光电化学复合沉积的仿真研究第52-68页
    5.1 引言第52页
    5.2 物理模型的建立第52-53页
    5.3 数学模型的建立第53-56页
        5.3.1 激光辐照温度场模型第53-54页
        5.3.2 激光辐照应力场模型第54页
        5.3.3 激光强力搅拌流场模型第54-55页
        5.3.4 电沉积加工电场模型第55页
        5.3.5 复合加工各物理场耦合关系第55-56页
    5.4 激光热效应仿真第56-58页
        5.4.1 约束条件设置第57页
        5.4.2 激光辐照温度场仿真结果第57-58页
    5.5 激光强力搅拌效应及应力冲击效应仿真第58-62页
        5.5.1 约束条件设置第59-60页
        5.5.2 仿真结果第60-62页
    5.6 激光电化学复合沉积仿真第62-66页
        5.6.1 约束条件设置第62-63页
        5.6.2 激光电化学复合仿真结果第63-66页
    5.7 实验研究第66-67页
    5.8 本章小结第67-68页
第六章 总结与展望第68-70页
    6.1 论文总结第68页
    6.2 展望第68-70页
参考文献第70-74页
致谢第74-75页
攻读硕士学位期间的学术成果第75页

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