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VDMOS器件的总剂量辐射效应及仿真分析

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 引言第9-11页
   ·研究背景第9页
   ·研究状况第9-10页
   ·论文内容与组织第10-11页
第二章 辐射环境及器件基本损伤机理第11-24页
   ·引言第11页
   ·辐射基本概念第11-17页
     ·辐射环境第11-13页
     ·辐射来源第13-14页
     ·辐射与器件的相互作用第14-17页
   ·器件损伤机理第17-21页
     ·电离损伤第18-19页
     ·位移损伤第19-21页
   ·辐射对器件界面态的影响第21-22页
   ·小结第22-24页
第三章 VDMOS 结构及主要参数第24-33页
   ·引言第24页
   ·VDMOS 物理结构第24-25页
   ·VDMOS 工作原理第25-27页
   ·VDMOS 器件的主要特点第27-28页
   ·VDMOS 主要电学参数第28-33页
     ·导通电阻R_(on)第28-29页
     ·阈值电压 V_(gs(th)第29-30页
     ·漏源电流I_(DS)第30-31页
     ·漏源击穿电压BV_(DS)第31-32页
     ·跨导g_m第32-33页
第四章 VDMOS 器件的总剂量辐射效应及仿真分析第33-57页
   ·引言第33页
   ·辐射感应氧化物对VDMOS 管特性的影响第33-34页
   ·总剂量辐射对VDMOS 器件阈值电压V_(th)的影响第34-42页
     ·栅源电压(VGS)对阈值电压的影响第35-37页
     ·器件尺寸对阈值电压漂移的影响第37-39页
     ·温度对阈值电压的影响第39-42页
   ·总剂量辐射对跨导g_m 的影响第42-45页
   ·利用MEDICI 仿真VMDOS 总剂量辐照效应第45-56页
     ·概述第45-47页
     ·常用器件仿真软件介绍第47-51页
     ·MEDICI 仿真软件介绍第51页
     ·MEDICI 仿真软件的主要特性第51-52页
     ·MEDICI 器件仿真软件的常用语句与语法第52-54页
     ·MEDICI 模拟VDMOS 器件特性第54-55页
     ·MEDICI 模拟VDMOS 总剂量辐照效应第55-56页
   ·小结第56-57页
第五章 辐射损伤缺陷的测量第57-61页
   ·测量方法第57-60页
     ·显微镜法第57-58页
     ·沟道—背散射法第58-59页
     ·红外光谱法IR第59-60页
   ·小结第60-61页
第六章 总结与展望第61-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-66页

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