MEMS谐振式电荷传感器
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 MEMS谐振器简介 | 第11页 |
| 1.2 静电式谐振器 | 第11-19页 |
| 1.2.1 理论模型 | 第11-15页 |
| 1.2.2 谐振器的常见类型 | 第15-18页 |
| 1.2.3 谐振器的性能参数 | 第18-19页 |
| 1.3 电荷传感器简介 | 第19-22页 |
| 1.4 本论文工作 | 第22页 |
| 1.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 2 电荷传感器的设计 | 第23-36页 |
| 2.1 本研究中器件的结构设计 | 第24-26页 |
| 2.2 器件的理论分析 | 第26-31页 |
| 2.2.1 柔性杠杆放大倍数的理论推导 | 第26-27页 |
| 2.2.2 谐振器的理论模型 | 第27-29页 |
| 2.2.3 谐振器梁在轴向力作用时的弹簧系数 | 第29-31页 |
| 2.3 器件的仿真优化 | 第31-35页 |
| 2.3.1 杠杆输出梁及支点梁长度的分析及优化 | 第31-32页 |
| 2.3.2 支点位置的分析及优化 | 第32-33页 |
| 2.3.3 电荷传感器的灵敏度分析 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 器件的加工 | 第36-41页 |
| 3.1 背部释放的加工工艺 | 第36-39页 |
| 3.2 前部释放的工艺 | 第39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 器件的测试 | 第41-48页 |
| 4.1 DETF谐振器的性能 | 第42-43页 |
| 4.2 器件的静电刚度软化 | 第43-44页 |
| 4.3 器件的非线性 | 第44-45页 |
| 4.4 电荷传感器的灵敏度 | 第45-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 高灵敏度和宽动态范围的电荷传感器 | 第48-54页 |
| 5.1 器件的设计 | 第48-50页 |
| 5.2 器件的加工 | 第50-51页 |
| 5.3 器件的测试结果和分析 | 第51-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 6 总结和展望 | 第54-56页 |
| 6.1 论文总结 | 第54页 |
| 6.2 研究展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-64页 |
| 作者在学习期间取得的科研成果 | 第64-65页 |
