| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 微波ECR等离子体概述 | 第9-11页 |
| 1.2 微波ECR镀膜装置 | 第11-18页 |
| 1.2.1 微波ECR镀膜装置概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 磁控管介绍 | 第12-18页 |
| 1.3 模式转换器 | 第18-22页 |
| 1.3.1 模式转换器应用背景 | 第18-19页 |
| 1.3.2 准光模式转换器 | 第19-20页 |
| 1.3.3 波导模式转换器 | 第20-22页 |
| 1.4 论文研究意义及主要工作 | 第22-25页 |
| 第二章 模式转换器介绍 | 第25-37页 |
| 2.1 矩形波导与圆波导简介 | 第25-28页 |
| 2.2 耦合波原理 | 第28-32页 |
| 2.2.1 耦合波理论 | 第28-29页 |
| 2.2.2 耦合波方程 | 第29-30页 |
| 2.2.3 耦合系数 | 第30-31页 |
| 2.2.4 强耦合 | 第31-32页 |
| 2.3 矩形TE_(10)模到圆TE_(01)模变换 | 第32-37页 |
| 第三章 模式转换器设计及仿真结果 | 第37-61页 |
| 3.1 模式转换器设计 | 第37-55页 |
| 3.1.1 3dB功分器 | 第37-38页 |
| 3.1.2 魔T特性 | 第38-39页 |
| 3.1.3 魔T匹配 | 第39-40页 |
| 3.1.4 影响魔T性能的因素 | 第40-49页 |
| 3.1.5 功分网络设计 | 第49-50页 |
| 3.1.6 弯头设计 | 第50-55页 |
| 3.2 模式转换器仿真结果 | 第55-61页 |
| 第四章 模式转换器的测量 | 第61-81页 |
| 4.1 模式鉴别 | 第61-63页 |
| 4.2 选模耦合器 | 第63-71页 |
| 4.2.1 单孔耦合选模器 | 第64-67页 |
| 4.2.2 多孔耦合选模器 | 第67-71页 |
| 4.3 模式转换器实验测试 | 第71-81页 |
| 4.3.1 模式转换器组件加工 | 第71-74页 |
| 4.3.2 魔T的测量 | 第74-77页 |
| 4.3.3 弯头的测量 | 第77-79页 |
| 4.3.4 模式转换器的安装 | 第79-81页 |
| 第五章 总结与工作展望 | 第81-83页 |
| 5.1 全文总结 | 第81页 |
| 5.2 工作展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第86页 |