新型电调薄膜体声波谐振器（FBAR）研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 缩略词表 | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-13页 |
| 1 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 FBAR国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 FBAR工作原理 | 第15-20页 |
| 1.3.1 压电效应 | 第15-16页 |
| 1.3.2 FBAR工作模式及电学特性 | 第16-18页 |
| 1.3.3 重要参数 | 第18-20页 |
| 1.4 FBAR基本结构 | 第20-22页 |
| 1.5 电调FBAR研究现状 | 第22-26页 |
| 1.6 论文的研究内容和章节安排 | 第26-29页 |
| 1.6.1 论文的研究内容 | 第26-27页 |
| 1.6.2 各章节内容安排 | 第27-29页 |
| 2 FBAR器件的制备与测试 | 第29-41页 |
| 2.1 背刻蚀型FBAR | 第29-34页 |
| 2.1.1 背刻蚀型FBAR的制备流程 | 第29-31页 |
| 2.1.2 压电薄膜的制备和表征 | 第31-32页 |
| 2.1.3 DRIE背腔刻蚀方法 | 第32-34页 |
| 2.2 FBAR器件的测试 | 第34-40页 |
| 2.2.1 FBAR的测试平台 | 第34-35页 |
| 2.2.2 S参数 | 第35-37页 |
| 2.2.3 FABR的温度特性测试 | 第37-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 3 FBAR的电调特性研究 | 第41-69页 |
| 3.1 FBAR的等效电路模型 | 第41-45页 |
| 3.1.1 Mason模型 | 第41-42页 |
| 3.1.2 BVD模型 | 第42-44页 |
| 3.1.3 MBVD模型 | 第44-45页 |
| 3.2 本征电调研究 | 第45-52页 |
| 3.2.1 电调测试平台 | 第45-46页 |
| 3.2.2 本征电调测试结果 | 第46-48页 |
| 3.2.3 弹性系数 | 第48-50页 |
| 3.2.4 压电系数 | 第50-52页 |
| 3.3 新型电调FBAR | 第52-66页 |
| 3.3.1 原理与结构 | 第52-54页 |
| 3.3.2 制备与测试 | 第54-60页 |
| 3.3.3 建模与仿真 | 第60-66页 |
| 3.4 本章小结 | 第66-69页 |
| 4 新型电调FBAR的应用 | 第69-87页 |
| 4.1 紫外线(UV)传感 | 第69-74页 |
| 4.1.1 制备与测试 | 第69-72页 |
| 4.1.2 传统FBAR紫外传感的机理 | 第72-73页 |
| 4.1.3 新型电调FBAR的紫外传感机理 | 第73-74页 |
| 4.2 温度补偿及自频率校准 | 第74-78页 |
| 4.2.1 自频率校准 | 第75-76页 |
| 4.2.2 温度补偿 | 第76-78页 |
| 4.3 可调滤波器 | 第78-84页 |
| 4.3.1 滤波器重要参数 | 第79页 |
| 4.3.2 FBAR滤波器结构 | 第79-81页 |
| 4.3.3 滤波器性能的微调 | 第81-82页 |
| 4.3.4 滤波器的频带调节 | 第82-84页 |
| 4.4 本章小结 | 第84-87页 |
| 5 总结与展望 | 第87-89页 |
| 5.1 论文主要研究内容和成果 | 第87-88页 |
| 5.2 论文的不足之处及进一步工作 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第95-96页 |
