| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第12-15页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第13-15页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第15-20页 |
| 1.2.1 国内发展现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 国外发展现状 | 第17-20页 |
| 1.3 论文的主要工作和章节安排 | 第20-23页 |
| 1.3.1 主要工作 | 第20-21页 |
| 1.3.2 论文创新点 | 第21-22页 |
| 1.3.3 章节安排 | 第22-23页 |
| 第2章 MEMS开关建模与分析 | 第23-50页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 RF MEMS开关结构模型及工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 电容式开关电磁模型建立 | 第24-36页 |
| 2.3.1 开关上态等效电容的微带等效法和散射参数法提取 | 第25-29页 |
| 2.3.2 开关下态电容及粗糙度影响分析 | 第29-31页 |
| 2.3.3 开关电感计算及缺陷地结构电感引入 | 第31-35页 |
| 2.3.4 开关串联电阻提取及隔离度计算分析 | 第35-36页 |
| 2.4 电容式开关电路建模 | 第36-41页 |
| 2.4.1 开关集总电路模型建立 | 第36-38页 |
| 2.4.2 电路模型参数的射频特性分析 | 第38-41页 |
| 2.5 电容式开关力学模型分析 | 第41-50页 |
| 2.5.1 MEMS开关梁的弹性系数计算及受力分析 | 第41-46页 |
| 2.5.2 静电激励下MEMS开关梁的变形分析 | 第46-47页 |
| 2.5.3 MEMS开关的一维动态模型分析 | 第47-49页 |
| 2.5.4 MEMS开关低驱动电压的优化 | 第49-50页 |
| 第3章 开关射频性能设计分析 | 第50-68页 |
| 3.1 引言 | 第50页 |
| 3.2 开关尺寸结构对射频性能的影响 | 第50-58页 |
| 3.2.1 梁长度影响 | 第51-53页 |
| 3.2.2 梁宽度影响 | 第53-54页 |
| 3.2.3 梁高度影响 | 第54-55页 |
| 3.2.4 梁厚度影响 | 第55-56页 |
| 3.2.5 梁释放孔影响 | 第56-58页 |
| 3.3 电容式开关谐振频率调整方法研究 | 第58-68页 |
| 3.3.1 改变极板相对面积对谐振频率的影响 | 第59-60页 |
| 3.3.2 介质层间距和介电常数对谐振频率的影响 | 第60-62页 |
| 3.3.3 梁结构本身电感对谐振频率的调整 | 第62-64页 |
| 3.3.4 缺陷地结构引入电感对谐振频率的调整 | 第64-68页 |
| 第4章 新型开关设计及在可调滤波器中的应用 | 第68-91页 |
| 4.1 引言 | 第68页 |
| 4.2 低驱动电压开关设计 | 第68-72页 |
| 4.2.1 圆弧弯曲梁开关 | 第69-71页 |
| 4.2.2 双弯曲梁开关 | 第71-72页 |
| 4.3 高隔离度开关设计 | 第72-76页 |
| 4.3.1 糖果形开关 | 第73-74页 |
| 4.3.2 混合式开关 | 第74-76页 |
| 4.4 高可靠性开关设计 | 第76-80页 |
| 4.4.1 仿生式开关 | 第77-78页 |
| 4.4.2 四通式开关 | 第78-80页 |
| 4.5 稳定电感直插式开关设计 | 第80-82页 |
| 4.6 电容式开关在可调滤波器中的应用 | 第82-91页 |
| 4.6.1 基于开关的可调滤波器中的工作原理 | 第82-83页 |
| 4.6.2 开关应用于共面波导模拟可调滤波器 | 第83-86页 |
| 4.6.3 开关应用于槽线带通数字可调滤波器 | 第86-91页 |
| 第5章 试验加工及测试方法研究 | 第91-106页 |
| 5.1 引言 | 第91页 |
| 5.2 开关加工工艺流程设计 | 第91-97页 |
| 5.2.1 加工方案设计 | 第91-96页 |
| 5.2.2 加工版图设计 | 第96-97页 |
| 5.3 开关试验片测试方案及测试结果 | 第97-102页 |
| 5.3.1 开关测试方案 | 第97-98页 |
| 5.3.2 开关测试结果 | 第98-102页 |
| 5.4 开关失效分析 | 第102-105页 |
| 5.5 开关设计改进方案 | 第105-106页 |
| 第6章 总结与展望 | 第106-108页 |
| 6.1 总结 | 第106-107页 |
| 6.2 研究展望 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-117页 |
| 缩略语 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-120页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第120-121页 |
| 攻读学位期间申请专利目录 | 第121页 |