基于光学倍程的纳米位移计量系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 研究的意义及目的 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3 论文主要工作 | 第13-14页 |
| 1.4 课题来源 | 第14-15页 |
| 2 位移计量系统的光路结构设计 | 第15-35页 |
| 2.1 测量原理 | 第15-17页 |
| 2.2 光路系统的琼斯矩阵分析 | 第17-19页 |
| 2.3 干涉条纹对比度分析 | 第19-21页 |
| 2.4 能量损失分析 | 第21-23页 |
| 2.5 光路调整装置 | 第23-25页 |
| 2.6 光路误差分析 | 第25-33页 |
| 2.7 小结 | 第33-35页 |
| 3 基于倍程信号的电路系统设计 | 第35-52页 |
| 3.1 信号采集和控制电路系统 | 第35-36页 |
| 3.2 条纹信号的频率特性以及幅值分析 | 第36-39页 |
| 3.3 信号处理电路设计 | 第39-42页 |
| 3.4 PCI数据采集卡的设计 | 第42-50页 |
| 3.5 PCB布线抗干扰分析 | 第50-51页 |
| 3.6 小结 | 第51-52页 |
| 4 逻辑控制时序设计仿真与驱动设计 | 第52-61页 |
| 4.1 AD采集模块时序设计及仿真 | 第52-54页 |
| 4.2 正交解码模块时序设计及其仿真 | 第54-55页 |
| 4.3 PCI接口模块时序设计及其仿真 | 第55-57页 |
| 4.4 驱动程序设计 | 第57-60页 |
| 4.5 小结 | 第60-61页 |
| 5 位移计量系统的测试实验和误差分析 | 第61-72页 |
| 5.1 位移计量系统和测试装置 | 第61-62页 |
| 5.2 位移计量系统的测试结果 | 第62-65页 |
| 5.3 系统误差分析 | 第65-71页 |
| 5.4 小结 | 第71-72页 |
| 6 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 论文总结 | 第72页 |
| 6.2 研究展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读学位期间取得的成果 | 第79页 |
