可实现温度补偿的压电式微压传感器研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11页 |
| 1.2 压力传感器国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.1.1 压阻式压力传感器 | 第11-13页 |
| 1.1.2 电容式压力传感器 | 第13-14页 |
| 1.1.3 压电式压力传感器 | 第14-15页 |
| 1.3 压电材料温度特性的研究现状 | 第15-20页 |
| 1.3.1 石英晶体的温度特性 | 第16页 |
| 1.3.2 压电陶瓷的温度特性 | 第16-19页 |
| 1.3.3 压电聚合物的温度特性 | 第19-20页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第20-23页 |
| 第2章 压电式微压传感器研究 | 第23-35页 |
| 2.1 压电式微压传感器结构 | 第23-26页 |
| 2.1.1 压电式微压传感器原理 | 第23-24页 |
| 2.1.2 压电薄膜几何结构设计 | 第24-25页 |
| 2.1.3 压电薄膜材料选择 | 第25-26页 |
| 2.2 压电式微压传感器的数学模型 | 第26-34页 |
| 2.2.1 周边固定圆形薄膜负载—形变模型 | 第26-31页 |
| 2.2.2 压电式微压传感器负载—输出模型 | 第31-33页 |
| 2.2.3 压电式微压传感器温度特性模型假设 | 第33-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 压电式微压传感器仿真分析 | 第35-45页 |
| 3.1 压电式微压传感器静态特性 | 第35-40页 |
| 3.1.1 压电式微压传感器尺寸优化 | 第35-37页 |
| 3.1.2 周边固支薄膜应力应变分析 | 第37-38页 |
| 3.1.3 压电式微压传感器灵敏度仿真 | 第38-40页 |
| 3.2 压电式微压传感器动态特性 | 第40-44页 |
| 3.2.1 压电式微压传感器模态分析 | 第40-43页 |
| 3.2.2 压电式微压传感器幅频特性 | 第43-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 压电式微压传感器性能测试及实验研究 | 第45-59页 |
| 4.1 实验原理及测试电路 | 第45-52页 |
| 4.1.1 压电式微压传感器实验原理 | 第45-46页 |
| 4.1.2 压电式微压传感器测试电路 | 第46-50页 |
| 4.1.3 主要测试设备 | 第50-52页 |
| 4.2 压电式微压传感器实验装置 | 第52-53页 |
| 4.3 压电式微压传感器性能测试 | 第53-57页 |
| 4.3.1 压电式微压传感器的动态响应 | 第53-54页 |
| 4.3.2 传感器灵敏度测试 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 压电式微压传感器温度特性实验 | 第59-73页 |
| 5.1 压电薄膜的温度特性 | 第59-61页 |
| 5.1.1 压电薄膜内阻的温度特性 | 第59-60页 |
| 5.1.2 压电薄膜电容温度特性 | 第60-61页 |
| 5.2 压电式微压传感器温度特性 | 第61-64页 |
| 5.3 压电式微压传感器温度补偿 | 第64-71页 |
| 5.3.1 温度补偿方法的提出 | 第65页 |
| 5.3.2 温度补偿电路设计 | 第65-66页 |
| 5.3.3 热敏电阻的选用及标定 | 第66-68页 |
| 5.3.4 温度补偿测试及分析 | 第68-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 第6章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
