| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 AFM简介 | 第14-20页 |
| 1.2.1 AFM的工作原理 | 第15-17页 |
| 1.2.2 AFM探针的微悬臂梁 | 第17-18页 |
| 1.2.3 AFM的测力原理 | 第18-19页 |
| 1.2.4 AFM在超润滑研究中的作用 | 第19-20页 |
| 1.3 AFM摩擦系数测量分辨率国内外研究现状 | 第20-27页 |
| 1.3.1 AFM微悬臂光杠杆检测系统的研究现状 | 第20-27页 |
| 1.3.2 AFM摩擦系数测量分辨率的研究现状 | 第27页 |
| 1.4 本文的选题意义及研究内容 | 第27-31页 |
| 1.4.1 本文的选题意义 | 第27-28页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第28-31页 |
| 第二章 AFM超低摩擦系数检测系统设计 | 第31-43页 |
| 2.1 AFM探针微悬臂梁变形的理论基础 | 第31-33页 |
| 2.1.1 微悬臂梁的弯曲 | 第31-32页 |
| 2.1.2 微悬臂梁的扭转 | 第32-33页 |
| 2.2 AFM光杠杆灵敏度分析 | 第33-36页 |
| 2.2.1 正向光杠杆灵敏度 | 第33-34页 |
| 2.2.2 横向光杠杆灵敏度 | 第34-36页 |
| 2.3 AFM探针设计模型 | 第36-37页 |
| 2.4 面向超低摩擦系数测量的探针设计 | 第37-42页 |
| 2.4.1 探针材料选择 | 第37-38页 |
| 2.4.2 探针尺寸设计 | 第38页 |
| 2.4.3 AFM探针强度及振动校核 | 第38-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 AFM光杠杆灵敏度理论的实验验证 | 第43-50页 |
| 3.1 实验设备 | 第43-44页 |
| 3.2 实验方案 | 第44-46页 |
| 3.2.1 验证思路 | 第44页 |
| 3.2.2 楔形标定法 | 第44-46页 |
| 3.3 正向光杠杆灵敏度的实验验证 | 第46-48页 |
| 3.3.1 实验探针选择 | 第46-47页 |
| 3.3.2 实验结果 | 第47-48页 |
| 3.4 横向光杠杆灵敏度的实验验证 | 第48-49页 |
| 3.4.1 实验探针选择 | 第48-49页 |
| 3.4.2 实验结果 | 第49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 基于AFM探针设计模型优选探针并验证 | 第50-58页 |
| 4.1 实验设备 | 第50-51页 |
| 4.2 实验方案 | 第51-52页 |
| 4.2.1 间接标定法 | 第51页 |
| 4.2.2 Schwarz公式 | 第51-52页 |
| 4.3 实验材料 | 第52-55页 |
| 4.3.1 不同摩擦系数测量分辨率探针选择 | 第52-53页 |
| 4.3.2 对磨副选择及制样 | 第53页 |
| 4.3.3 微悬臂梁固定微球胶水的选择 | 第53-55页 |
| 4.4 不同摩擦系数测量分辨率的AFM探针实验结果 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 面向用于测量超低摩擦系数测量的探针修型的加工及实验 | 第58-63页 |
| 5.1 加工方法选择 | 第58-59页 |
| 5.2 磁悬浮标定法 | 第59-60页 |
| 5.3 AFM光电检测器(PSD)可检测电压分辨率 | 第60页 |
| 5.4 基于扭转刚度标定测量设计探针摩擦系数测量分辨率 | 第60-62页 |
| 5.5 本章小节 | 第62-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 主要结论 | 第63-64页 |
| 研究展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读硕士学位期间的成果 | 第72页 |
