| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 概述 | 第12-13页 |
| 1.2 光栅尺的国内外发展动态 | 第13-18页 |
| 1.2.1 光栅尺的分类 | 第13-15页 |
| 1.2.2 光栅尺的发展动态 | 第15-18页 |
| 1.3 课题背景及研究意义 | 第18-19页 |
| 1.4 论文研究的主要内容及结构 | 第19-20页 |
| 第2章 绝对式光栅尺测量技术研究 | 第20-55页 |
| 2.1 绝对式光栅尺测量技术 | 第20-28页 |
| 2.1.1 多码道绝对位置编码测量技术 | 第20-26页 |
| 2.1.2 单码道绝对位置编码测量技术 | 第26-28页 |
| 2.1.3 唯一码道测量技术 | 第28页 |
| 2.2 莫尔条纹光电信号理论 | 第28-37页 |
| 2.2.1 光闸莫尔条纹在光栅尺中的应用 | 第30-32页 |
| 2.2.2 纵向莫尔条纹在光栅尺中的应用 | 第32-37页 |
| 2.3 光栅尺莫尔条纹光电信号建模 | 第37-43页 |
| 2.3.1 光闸莫尔条纹仿真结果 | 第39-41页 |
| 2.3.2 纵向莫尔条纹仿真结果 | 第41-43页 |
| 2.4 提高莫尔条纹正弦性的方法 | 第43-49页 |
| 2.4.1 相差补偿原理 | 第44-46页 |
| 2.4.2 基于相差补偿法的指示光栅窗口排布 | 第46-49页 |
| 2.5 莫尔条纹细分方法 | 第49-54页 |
| 2.5.1 CORDIC算法在莫尔条纹细分技术中的应用 | 第49-52页 |
| 2.5.2 查表法在莫尔条纹细分技术中的应用 | 第52-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第3章 绝对式光栅尺研制 | 第55-112页 |
| 3.1 绝对式光栅尺研制方案 | 第55-57页 |
| 3.2 单码道绝对位置编码 | 第57-66页 |
| 3.2.1 绝对位置编码的生成方法 | 第57-60页 |
| 3.2.2 本原多项式的系数求解 | 第60-66页 |
| 3.3 专用光电器件 | 第66-90页 |
| 3.3.1 图像传感器简介 | 第66-70页 |
| 3.3.2 图像传感器在绝对式光栅尺中的应用 | 第70-71页 |
| 3.3.3 专用图像传感器架构设计 | 第71-76页 |
| 3.3.4 运算放大器设计与仿真 | 第76-86页 |
| 3.3.5 专用光电器件系统级测试 | 第86-90页 |
| 3.4 串行通信协议 | 第90-99页 |
| 3.4.1 数控系统常用通信协议简介 | 第91-92页 |
| 3.4.2 En Dat通信协议 | 第92-94页 |
| 3.4.3 SSI通信协议 | 第94-95页 |
| 3.4.4 Biss通信协议 | 第95-99页 |
| 3.5 绝对式光栅尺电子系统 | 第99-107页 |
| 3.5.1 绝对式光栅尺电子系统架构 | 第99-102页 |
| 3.5.2 绝对式光栅尺电子系统工作流程 | 第102-104页 |
| 3.5.3 光源亮度控制电路 | 第104-107页 |
| 3.5.4 设计结果 | 第107页 |
| 3.6 绝对式光栅尺数据采集系统 | 第107-110页 |
| 3.6.1 数据采集系统架构及硬件设计 | 第108-109页 |
| 3.6.2 数据采集系统软件工作流程及设计结果 | 第109-110页 |
| 3.7 本章小结 | 第110-112页 |
| 第4章 绝对式光栅尺测量范围内误差检测与补偿 | 第112-134页 |
| 4.1 绝对式光栅尺测量范围内误差组成 | 第112-114页 |
| 4.2 绝对式光栅尺测量范围内误差检测 | 第114-126页 |
| 4.2.1 误差检测系统的搭建 | 第115-120页 |
| 4.2.2 误差检测结果 | 第120-126页 |
| 4.3 绝对式光栅尺测量范围内误差补偿 | 第126-133页 |
| 4.3.1 使用分段分段线性修正提高测量精度 | 第127-130页 |
| 4.3.2 使用径向基函数网络法提高测量精度 | 第130-133页 |
| 4.4 本章小结 | 第133-134页 |
| 第5章 绝对式光栅尺细分误差检测与补偿 | 第134-142页 |
| 5.1 莫尔信号质量对细分精度的影响 | 第134-136页 |
| 5.2 细分误差模型的建立 | 第136-139页 |
| 5.3 细分误差的补偿 | 第139-140页 |
| 5.4 本章小结 | 第140-142页 |
| 第6章 结论 | 第142-147页 |
| 6.1 主要研究成果及结论 | 第142-145页 |
| 6.2 创新点 | 第145-146页 |
| 6.3 展望 | 第146-147页 |
| 参考文献 | 第147-156页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第156-157页 |
| 指导教师及作者简介 | 第157-158页 |
| 致谢 | 第158页 |