| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 本课题的研究意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外发展现状及前景 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国外气体传感器技术发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内气体传感器技术研究现状 | 第11页 |
| 1.2.3 气体传感器技术的未来 | 第11-12页 |
| 1.3 论文的主要内容及结构安排 | 第12-14页 |
| 第2章 Silvaco TCAD简介 | 第14-19页 |
| 2.1 集成环境Deckbuild | 第15页 |
| 2.2 器件编辑器Dev Edit | 第15-16页 |
| 2.3 器件仿真器ATLAS | 第16-17页 |
| 2.4 可视化工具Tonyplot/Tonyplot3d | 第17页 |
| 2.5 Silvaco仿真流程 | 第17-18页 |
| 2.6 本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 原理 | 第19-30页 |
| 3.1 SMO气体传感器的气敏机理 | 第19-21页 |
| 3.2 仿真原理 | 第21-22页 |
| 3.3 仿真参数分析 | 第22-29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 基于AAO模板的ZnO气体传感器模板深度效应研究 | 第30-36页 |
| 4.1 仿真模型 | 第30-31页 |
| 4.2 仿真结果分析 | 第31-35页 |
| 4.2.1 Ⅰ-Ⅴ曲线分析 | 第31-33页 |
| 4.2.2 灵敏度分析 | 第33页 |
| 4.2.3 AAO模板深度效应分析 | 第33-35页 |
| 4.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第5章 基于AAO模板的ZnO气体传感器电极位置效应研究 | 第36-44页 |
| 5.1 电极位置效应研究仿真模型 | 第36-37页 |
| 5.2 仿真结果分析 | 第37-43页 |
| 5.2.1 Ⅰ-Ⅴ曲线分析 | 第37-39页 |
| 5.2.2 灵敏度分析 | 第39-40页 |
| 5.2.3 电极位置效应分析 | 第40-43页 |
| 5.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第6章 仿真结果与实验结果的对比分析 | 第44-49页 |
| 6.1 基于AAO模板的ZnO气体传感器的制作 | 第44-45页 |
| 6.2 仿真结果与实验结果的对比 | 第45-48页 |
| 6.2.1 电极位置效应的仿真结果与实验结果的对比 | 第45-46页 |
| 6.2.2 AAO模板深度效应仿真结果与实验结果的对比 | 第46-48页 |
| 6.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第7章 总结与展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第56页 |
