用于生物检测的720nm波段V型腔激光器以及钙钛矿激光器的设计制作
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 血氧饱和度检测的意义和发展 | 第14-17页 |
| 1.3 血流速度检测的意义和发展 | 第17-18页 |
| 1.4 可调谐激光器的发展 | 第18-22页 |
| 1.5 本文的研究目的、内容和创新点 | 第22-26页 |
| 1.5.1 本文研究目的和意义 | 第22-23页 |
| 1.5.2 本文章节安排 | 第23-24页 |
| 1.5.3 本文创新点 | 第24-26页 |
| 2 单光源实现血氧饱和度和血流速度检测的原理分析 | 第26-36页 |
| 2.1 血氧饱和度检测原理 | 第26-31页 |
| 2.2 单光源实现血氧饱和度检测的理论分析 | 第31-34页 |
| 2.3 血流速度检测原理 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 Ⅴ型腔激光器的量子阱和结构设计 | 第36-60页 |
| 3.1 量子阱设计 | 第36-46页 |
| 3.1.1 势阱和势垒材料的选取 | 第36-38页 |
| 3.1.2 量子阱带隙计算 | 第38-41页 |
| 3.1.3 带边不连续性和有效质量的计算 | 第41-42页 |
| 3.1.4 量子阱能级的计算以及组分和阱宽的确定 | 第42-46页 |
| 3.2 层状结构设计 | 第46-49页 |
| 3.3 Ⅴ型腔激光器工作原理 | 第49-52页 |
| 3.3.1 游标效应作用 | 第50-51页 |
| 3.3.2 阈值条件分析 | 第51-52页 |
| 3.4 Ⅴ型腔激光器结构设计与优化 | 第52-59页 |
| 3.4.1 波导结构设计 | 第53-56页 |
| 3.4.2 半波耦合器设计 | 第56-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 4 制作工艺研究 | 第60-79页 |
| 4.1 工艺流程总览 | 第60-62页 |
| 4.2 晶片表面预处理 | 第62-63页 |
| 4.3 光刻工艺 | 第63-68页 |
| 4.3.1 正胶光刻 | 第64-67页 |
| 4.3.2 负胶光刻 | 第67-68页 |
| 4.4 刻蚀工艺 | 第68-74页 |
| 4.4.1 掩模选择 | 第68-69页 |
| 4.4.2 干法刻蚀 | 第69-74页 |
| 4.4.3 湿法刻蚀 | 第74页 |
| 4.5 平坦化 | 第74-75页 |
| 4.6 正面电极和背面电极制作 | 第75-77页 |
| 4.7 减薄与抛光 | 第77-78页 |
| 4.8 本章小结 | 第78-79页 |
| 5 激光器性能测试 | 第79-93页 |
| 5.1 测试平台介绍 | 第79-80页 |
| 5.2 FP激光器性能测试 | 第80-84页 |
| 5.2.1 LI、Ⅳ性能测试 | 第80-82页 |
| 5.2.2 腔镜面损伤测试 | 第82-84页 |
| 5.3 V型腔激光器测试 | 第84-92页 |
| 5.3.1 调谐机理分析 | 第84-85页 |
| 5.3.2 热效应波长切换性能测试 | 第85-89页 |
| 5.3.3 载流子注入调谐性能测试 | 第89-91页 |
| 5.3.4 TEC温控调谐测试 | 第91-92页 |
| 5.4 本章小结 | 第92-93页 |
| 6 血氧饱和度和血流速度的检测与分析 | 第93-109页 |
| 6.1 双参数血液检测系统设计 | 第93-96页 |
| 6.2 数据处理 | 第96-104页 |
| 6.2.1 小波变换基本原理 | 第97-99页 |
| 6.2.2 基于小波变换的信号处理 | 第99-104页 |
| 6.3 血氧测试结果 | 第104-107页 |
| 6.4 血流测试结果 | 第107-108页 |
| 6.6 本章小结 | 第108-109页 |
| 7 光泵浦分布反馈式钙钛矿激光器的探索研究 | 第109-123页 |
| 7.1 钙钛矿研究背景与意义 | 第109-111页 |
| 7.2 边缘出射的DFB结构设计 | 第111-115页 |
| 7.3 钙钛矿DFB的制作工艺 | 第115-120页 |
| 7.3.1 光栅波导的制作工艺流程 | 第115-118页 |
| 7.3.2 光栅波导制作工艺优化 | 第118-120页 |
| 7.3.3 钙钛矿薄膜制备 | 第120页 |
| 7.4 测试结果分析 | 第120-122页 |
| 7.5 本章小结 | 第122-123页 |
| 8 总结与展望 | 第123-125页 |
| 8.1 本文总结 | 第123-124页 |
| 8.2 对未来工作的展望 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-133页 |
| 作者简介 | 第133页 |
