| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第12-14页 |
| 2 文献综述 | 第14-42页 |
| 2.1 半导体集成技术的发展现状 | 第14-17页 |
| 2.2 非易失性半导体存储器 | 第17-22页 |
| 2.2.1 NAND闪存 | 第18-19页 |
| 2.2.2 MRAM磁存储器 | 第19-20页 |
| 2.2.3 PCM相变存储器 | 第20-21页 |
| 2.2.4 RRAM阻变存储器 | 第21-22页 |
| 2.3 阻变存储器的发展及研究现状 | 第22-35页 |
| 2.3.1 阻变存储器与忆阻器 | 第23-25页 |
| 2.3.2 阻变存储器的结构 | 第25-26页 |
| 2.3.3 阻变存储器的应用 | 第26-28页 |
| 2.3.4 阻变存储器的特性参数 | 第28-29页 |
| 2.3.5 阻变存储器的阻变机制 | 第29-34页 |
| 2.3.6 阻变存储器的阻变材料 | 第34-35页 |
| 2.4 氧化物基阻变存储器 | 第35-41页 |
| 2.4.1 ZnO/Ta_2O_5的结构和基本性质 | 第35页 |
| 2.4.2 ZnO/Ta_2O_5薄膜的制备方法 | 第35-37页 |
| 2.4.3 ZnO/Ta_2O_5在阻变存储器中的应用 | 第37-39页 |
| 2.4.4 氧化物阻变存储器中的物理效应 | 第39-41页 |
| 2.5 研究目的及内容 | 第41-42页 |
| 3 ZnO薄膜的可控制备及性能调控 | 第42-57页 |
| 3.1 水热生长ZnO纳米棒阵列薄膜 | 第42-46页 |
| 3.1.1 ZnO纳米棒阵列薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 3.1.2 ZnO纳米棒阵列薄膜的表征 | 第44-45页 |
| 3.1.3 氢气快速退火处理ZnO纳米棒薄膜 | 第45-46页 |
| 3.2 原子层沉积法制备ZnO薄膜 | 第46-51页 |
| 3.2.1 ZnO薄膜的制备 | 第47页 |
| 3.2.2 ZnO薄膜的表征 | 第47-48页 |
| 3.2.3 空气退火调节ZnO薄膜电学性能 | 第48-51页 |
| 3.3 电化学沉积制备ZnO薄膜 | 第51-56页 |
| 3.3.1 ZnO薄膜的制备 | 第51-52页 |
| 3.3.2 ZnO薄膜的表征 | 第52-53页 |
| 3.3.3 控制合成工艺参数调节ZnO薄膜性能 | 第53-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 4 Au/ZnO NRs/AZO结构阻变存储器的构建及性能调控 | 第57-69页 |
| 4.1 氧化物阻变存储器中的氧空位迁移驱动力 | 第57-58页 |
| 4.2 Au/ZnO NRs/AZO结构阻变存储器器件构建 | 第58-60页 |
| 4.3 Au/ZnO NRs/AZO结构阻变存储器性能测试 | 第60-64页 |
| 4.4 氢气快速退火增强性能机理分析 | 第64-68页 |
| 4.4.1 阿仑尼乌斯激活能理论解释氧空位迁移过程 | 第64-67页 |
| 4.4.2 氢气快速退火的作用 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 Au/ZnO Film/AZO结构阻变存储器的构建及其屏蔽效应 | 第69-82页 |
| 5.1 载流子屏蔽效应削弱电势梯度驱动力 | 第69-70页 |
| 5.2 Au/ZnO Film/AZO结构阻变存储器中的屏蔽效应 | 第70-76页 |
| 5.3 Au/ZnO Film/AZO结构阻变存储器中屏蔽效应的调控 | 第76-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 6 Au/ZnO Film/AZO结构阻变存储器的失效及其机理 | 第82-92页 |
| 6.1 Au/ZnO Film/AZO结构阻变存储器的构建 | 第82-85页 |
| 6.2 Au/ZnO Film/AZO结构阻变存储器的失效 | 第85-89页 |
| 6.3 阻变存储器的失效机理分析 | 第89-90页 |
| 6.4 本章小结 | 第90-92页 |
| 7 PTFE/Al-Au/Ta_2O_5/AZO自驱动触摸记忆系统的构建 | 第92-107页 |
| 7.1 Au/Ta_2O_5/AZO结构阻变存储器的构建 | 第93-96页 |
| 7.2 PTFE/Al结构单电极摩擦发电机的构建 | 第96-99页 |
| 7.3 摩擦电阻变存储器的集成与性能研究 | 第99-105页 |
| 7.3.1 摩擦发电机与阻变存储器的集成 | 第99-100页 |
| 7.3.2 集成器件的关键问题 | 第100-101页 |
| 7.3.3 集成器件的性能测试 | 第101-103页 |
| 7.3.4 集成器件的运行机制 | 第103-105页 |
| 7.4 本章小结 | 第105-107页 |
| 8 结论 | 第107-110页 |
| 参考文献 | 第110-125页 |
| 作者简历及在学研究成果 | 第125-129页 |
| 学位论文数据集 | 第129页 |
