声表面波无源无线压力传感器研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·论文主要内容与章节安排 | 第13-14页 |
| ·论文主要内容 | 第13页 |
| ·论文章节安排 | 第13-14页 |
| 第2章 声表面波传感器的基本原理 | 第14-29页 |
| ·声表面波理论 | 第14-18页 |
| ·声表面波的传播特性 | 第14-16页 |
| ·声表面波压电耦合效应 | 第16-18页 |
| ·叉指换能器 | 第18-22页 |
| ·叉指换能器基本结构 | 第18-20页 |
| ·叉指换能器的模型 | 第20-22页 |
| ·反射栅 | 第22-25页 |
| ·反射栅的基本结构 | 第22-23页 |
| ·反射栅的模型 | 第23-25页 |
| ·声表面波传感原理 | 第25-28页 |
| ·谐振型声表面波压力传感器结构 | 第26-27页 |
| ·延迟线型声表面波压力传感器结构 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 声表面波器件的模拟与仿真 | 第29-48页 |
| ·模式耦合模型 | 第29-37页 |
| ·叉指换能器的模式耦合模型方程 | 第29-30页 |
| ·声表面波反射栅的模式耦合方程 | 第30-37页 |
| ·P矩阵 | 第37-42页 |
| ·P矩阵的基本原理 | 第37-39页 |
| ·P矩阵的级联 | 第39-42页 |
| ·声表面波器件的整体仿真流程 | 第42-47页 |
| ·耦合模参数的计算 | 第43-44页 |
| ·确定各个单元的P矩阵 | 第44-45页 |
| ·级联P矩阵 | 第45-46页 |
| ·根据P矩阵求得器件的导纳矩阵 | 第46页 |
| ·根据P矩阵取得器件的散射矩阵以及频率响应 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 声表面波器件标签与编码 | 第48-58页 |
| ·射频识别技术 | 第48-49页 |
| ·射频识别技术简介 | 第48-49页 |
| ·声表面波器件的射频识别技术 | 第49页 |
| ·常用声表面波标签编码方法 | 第49-51页 |
| ·脉冲开关键控编码 | 第49-50页 |
| ·脉冲位置编码 | 第50页 |
| ·相位编码 | 第50-51页 |
| ·声表面波器件正交频率编码 | 第51-57页 |
| ·正交频率编码简介 | 第51页 |
| ·正交频率编码理论基础 | 第51-53页 |
| ·声表面波器件上的正交频率编码 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 声表面波无源无线压力传感器设计 | 第58-72页 |
| ·叉指换能器设计 | 第58-60页 |
| ·叉指换能器结构设计 | 第58-60页 |
| ·叉指换能器材料选择 | 第60页 |
| ·基片材料选择 | 第60-62页 |
| ·反射栅设计 | 第62-63页 |
| ·声表面器件传感器的仿真与测试 | 第63-67页 |
| ·声表面波传感器结构设计 | 第63页 |
| ·声表面波传感器仿真结果 | 第63-65页 |
| ·声表面波传感器测试结果 | 第65-67页 |
| ·温度补偿设计 | 第67-69页 |
| ·温度与压力的互相耦合 | 第67-68页 |
| ·温度补偿结构设计 | 第68-69页 |
| ·传感器压力测试结果 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 总结与展望 | 第72-74页 |
| 本文工作总结 | 第72页 |
| 今后工作展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
