| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第9页 |
| ·类金刚石薄膜的结构与分类 | 第9-11页 |
| ·类金刚石薄膜制备的研究进展 | 第11-16页 |
| ·用等离子体方法制备类金刚石膜薄 | 第12页 |
| ·用等离子体方法在金属管内壁制备类金刚石膜薄 | 第12-15页 |
| ·空心阴极放电制备类金刚石薄膜方法 | 第15-16页 |
| ·空心阴极放电 | 第16-19页 |
| ·空心阴极简介 | 第16-17页 |
| ·空心阴极效应 | 第17-18页 |
| ·脉冲空心阴极放电 | 第18-19页 |
| ·本文研究思路和主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 空心阴极放电特性 | 第20-32页 |
| ·实验装置 | 第20-21页 |
| ·直流空心阴极放电特性 | 第21-23页 |
| ·脉冲空心阴极放电特性 | 第23-27页 |
| ·脉冲空心阴极放电机制 | 第23-24页 |
| ·放电条件对脉冲空心阴极放电特性的影响 | 第24-27页 |
| ·发射光谱（OES） | 第27-29页 |
| ·等离子体电子激发温度 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 直流空心阴极制备金属管内壁 DLC 薄膜 | 第32-38页 |
| ·实验方法 | 第32页 |
| ·类金刚石薄膜表征方法 | 第32-34页 |
| ·实验结果与分析 | 第34-37页 |
| ·沉积时间对 DLC 膜结构及性能影响 | 第35页 |
| ·放电电压对 DLC 膜结构及性能影响 | 第35-36页 |
| ·气体配比对 DLC 膜结构及性能影响 | 第36页 |
| ·表面形貌分析——扫描电子显微镜(SEM) | 第36-37页 |
| ·类金刚石薄膜厚度和硬度 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 脉冲空心阴极放电制备金属管内壁 DLC 薄膜 | 第38-50页 |
| ·实验方法 | 第38页 |
| ·DLC 膜结构与性能分析 | 第38-47页 |
| ·放电电压对 DLC 膜结构与性能影响 | 第38-44页 |
| ·脉冲频率对 DLC 膜的结构与性能影响 | 第44-45页 |
| ·沉积时间对 DLC 膜的结构与性能影响 | 第45-47页 |
| ·表面形貌分析―电子扫描显微镜（SEM） | 第47页 |
| ·不同沉积时间下薄膜的厚度 | 第47-48页 |
| ·不同沉积时间下薄膜的硬度 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 总结与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |