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用于数字PCR的微滴生成及检测芯片研究

摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第一章 绪论第13-27页
   ·课题研究背景及意义第13-14页
   ·微流控微滴技术第14-23页
     ·微滴的生成技术第14-18页
     ·微滴的操控技术第18-20页
     ·微滴应用研究第20-23页
     ·微滴技术总结与展望第23页
   ·微流控芯片及相关技术第23-26页
     ·微全分析系统概述第23-24页
     ·微流控芯片的研究背景及意义第24-25页
     ·微流控系统的检测技术第25-26页
   ·数字PCR技术第26-27页
第二章 微滴生成及检测芯片的设计第27-41页
   ·微流控芯片微滴生成模块及检测模块概述第27-28页
     ·微滴高速生成模块概述第27页
     ·微滴检测模块概述第27-28页
   ·模拟仿真问题的提出第28页
   ·芯片微结构的Comsol仿真第28-36页
     ·有限元分析方法第28-29页
     ·COMSOL多物理场仿真软件第29-30页
     ·仿真理论基础及模型建立第30-33页
     ·仿真结果分析第33-36页
   ·芯片的相关指标分析及结构确定第36-40页
   ·本章小结第40-41页
第三章 微滴生成芯片及检测芯片的MEMS工艺加工第41-59页
   ·MEMS技术概述第41-44页
     ·MEMS技术的特点第41-42页
     ·MEMS的加工技术第42-44页
   ·SU-8 工艺研究第44-49页
     ·SU-8 光刻胶简介第44-45页
     ·SU-8 光刻胶工艺第45-49页
   ·微滴生成及检测芯片的SU-8 胶微结构制作第49-52页
     ·掩模板的设计第49页
     ·工艺参数第49-51页
     ·SU-8 阳模效果图第51-52页
   ·PDMS工艺研究第52-54页
     ·PDMS概述第52页
     ·PDMS表面修饰技术第52-53页
     ·PDMS键合技术第53-54页
   ·用于微滴生成及检测的PDMS芯片的制作第54-57页
     ·芯片制作流程第54-56页
     ·PDMS芯片微结构尺寸测定第56-57页
   ·本章小结第57-59页
第四章 负压驱动计算及微滴大小均一性分析第59-67页
   ·负压驱动计算第59-62页
     ·沿程损失理论第59-60页
     ·负压驱动计算第60-62页
   ·微滴大小均一性分析第62-67页
     ·研究方法第62-63页
     ·处理过程第63-67页
第五章 实验系统第67-71页
   ·负压系统组件第67页
   ·光学探测组件第67-68页
   ·机械组件第68页
   ·微滴实验第68-71页
第六章 总结与展望第71-72页
参考文献第72-75页
在学期间学术成果情况第75-76页
指导教师及作者简介第76-77页
致谢第77页

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