| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-52页 |
| 第一节 空间润滑技术的发展 | 第14-21页 |
| ·环境对空间润滑的影响 | 第14-16页 |
| ·太空环境 | 第14-15页 |
| ·地面环境和发射期间的损伤 | 第15-16页 |
| ·急需解决的空间摩擦学问题 | 第16-17页 |
| ·目前常用空间润滑材料 | 第17-21页 |
| ·基础材料 | 第17-19页 |
| ·自润滑复合材料 | 第19-21页 |
| 第二节 类金刚石薄膜材料 | 第21-26页 |
| ·非晶碳基薄膜材料 | 第21-24页 |
| ·类金刚石碳膜的性能与应用 | 第24-26页 |
| 第三节 类金刚石薄膜的摩擦学研究现状 | 第26-40页 |
| ·类金刚石薄膜摩擦学性能的影响因素 | 第26-37页 |
| ·基材及其硬度的影响 | 第26-27页 |
| ·基材表面粗糙度的影响 | 第27-29页 |
| ·摩擦对偶材料的影响 | 第29-30页 |
| ·薄膜组成以及结构的影响 | 第30-31页 |
| ·环境相对湿度对含氢碳膜的影响 | 第31-35页 |
| ·掺杂元素的影响 | 第35-36页 |
| ·金属掺杂 | 第36-37页 |
| ·类金刚石薄膜的超润滑性能 | 第37-40页 |
| 第四节 论文的选题依据及研究内容 | 第40-44页 |
| 参考文献 | 第44-52页 |
| 第二章 磁控溅射技术制备DLC薄膜及其结构与性能研究 | 第52-86页 |
| 第一节 源气体组分对TiC/a-C:H薄膜的结构和性能的影响 | 第52-67页 |
| ·实验部分 | 第53-54页 |
| ·TiC/a-C:H薄膜的结构及性能表征 | 第54-55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-67页 |
| ·薄膜的厚度及结构 | 第55-57页 |
| ·XPS分析 | 第57-60页 |
| ·Raman分析 | 第60-61页 |
| ·XRD分析 | 第61-62页 |
| ·表面断面分析 | 第62-63页 |
| ·硬度 | 第63-64页 |
| ·摩擦学性能 | 第64-67页 |
| ·结论 | 第67页 |
| 第二节 中频溅射电流对TiC/a-C:H薄膜的结构和性能的影响 | 第67-75页 |
| ·实验部分 | 第67-68页 |
| ·结果与讨论 | 第68-73页 |
| ·XPS分析 | 第68-69页 |
| ·Raman分析 | 第69-70页 |
| ·TEM分析 | 第70-72页 |
| ·断面分析 | 第72-73页 |
| ·摩擦性能 | 第73-75页 |
| ·小结 | 第75页 |
| 第三节 TiC/a-C:H薄膜热稳定性分析 | 第75-80页 |
| ·实验部分 | 第75-76页 |
| ·热稳定表征 | 第76-79页 |
| ·Raman分析 | 第76-77页 |
| ·力学性能分析 | 第77-78页 |
| ·摩擦性能表征 | 第78-79页 |
| ·小结 | 第79-80页 |
| 第四节 TiC/a-C:H薄膜的高真空摩擦性能 | 第80-82页 |
| ·实验部分 | 第80页 |
| ·摩擦性能 | 第80-81页 |
| ·小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 第三章 高氢含量TiC/a-C:H薄膜的制备及其结构性能研究 | 第86-100页 |
| 第一节 高H含量TiC/a-C:H薄膜的制备及摩擦性能研究 | 第87-98页 |
| ·实验部分 | 第88-89页 |
| ·TiC/a-C:H薄膜制备和表征 | 第88-89页 |
| ·a-C:H薄膜的摩擦性能研究 | 第89页 |
| ·结果与讨论 | 第89-96页 |
| ·高H含量TiC/a-C:H薄膜的厚度表征 | 第89页 |
| ·高H含量TiC/a-C:H薄膜的力学性能表征 | 第89-90页 |
| ·高H含量TiC/a-C:H薄膜在大气环境中的摩擦学性能表征 | 第90-94页 |
| ·高H含量TiC/a-C:H薄膜在大气环境中的摩擦学性能表 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
| 第四章 TiC(Ag)/a-C:H复合薄膜的制备、结构及其摩擦性能的表征 | 第100-136页 |
| 第一节 TiC(Ag)/a-C:H复合薄膜的制备及表征 | 第101-116页 |
| ·实验部分 | 第101-102页 |
| ·结果与讨论 | 第102-115页 |
| ·TiC(Ag)/a-C:H复合薄膜表面及截面形貌 | 第102-104页 |
| ·AFM分析 | 第104-105页 |
| ·Raman分析 | 第105-106页 |
| ·XPS分析 | 第106-108页 |
| ·XRD分析 | 第108-109页 |
| ·HRTEM及SAED分析 | 第109-111页 |
| ·力学性能分析 | 第111-112页 |
| ·摩擦性能分析 | 第112-115页 |
| ·小结 | 第115-116页 |
| 第二节 TiC(Ag)/a-C:H纳米复合薄膜的热稳定性 | 第116-126页 |
| ·实验部分 | 第117-118页 |
| ·薄膜制备和热处理 | 第117页 |
| ·薄膜结构表征和机械性能测试 | 第117-118页 |
| ·实验结果 | 第118-126页 |
| ·Raman分析 | 第118-119页 |
| ·XRD分析 | 第119-120页 |
| ·HRTEM及SAED分析 | 第120-121页 |
| ·断面表面分析 | 第121-122页 |
| ·力学性能分析 | 第122-123页 |
| ·摩擦性能分析 | 第123-126页 |
| ·小结 | 第126页 |
| 第三节 TiC(Ag)/a-C:H纳米复合薄膜高真空摩擦性能分析 | 第126-131页 |
| ·实验部分 | 第127页 |
| ·薄膜制备和高真空摩擦学测试 | 第127页 |
| ·实验结果 | 第127-130页 |
| ·摩擦性能测试 | 第127-130页 |
| ·小结 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-136页 |
| 第五章 软硬交替纳米多层DLC/MoS_2复合薄膜的制备及其摩擦学行为研究 | 第136-154页 |
| 第一节 软硬交替纳米多层DLC/MoS_2复合薄膜的结构 | 第137-142页 |
| ·实验部分 | 第137-138页 |
| ·结果与讨论 | 第138-141页 |
| ·多层DLC/MoS_2复合薄膜的截面形貌 | 第138-140页 |
| ·多层DLC/MoS_2复合薄膜的XRD分析 | 第140-141页 |
| ·小结 | 第141-142页 |
| 第二节 软硬交替纳米多层DLC/MoS_2复合薄膜的摩擦学行为 | 第142-152页 |
| ·实验部分 | 第142页 |
| ·结果与讨论 | 第142-149页 |
| ·多层DLC/MoS_2复合薄膜的大气环境摩擦行为 | 第142-147页 |
| ·多层DLC/MoS_2复合薄膜高真空环境摩擦行为 | 第147-149页 |
| ·多层DLC/MoS_2复合薄膜的磨损机制 | 第149-151页 |
| ·小结 | 第151-152页 |
| 参考文献 | 第152-154页 |
| 第六章 结束语 | 第154-158页 |
| 第一节 本论文的主要研究内容与结论 | 第155页 |
| 第二节 DLC薄膜研究中存在问题及发展趋势 | 第155-158页 |
| 作者简历 | 第158-160页 |
| 博士期间发表、待发表的论文及申请专利情况 | 第160-162页 |
| 致谢 | 第162页 |
