MEMS扭转微镜温度效应的仿真分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-13页 |
| ·MEMS 扭转微镜的研究背景 | 第8页 |
| ·MEMS 扭转微镜的国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·研究意义 | 第11页 |
| ·研究内容与章节安排 | 第11-13页 |
| 第二章 MEMS 扭转微镜的静态特性 | 第13-27页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·静态模型描述 | 第13-15页 |
| ·不考虑温度效应的微镜模型及静态特性 | 第13-14页 |
| ·考虑温度效应的微镜模型及静态特性 | 第14-15页 |
| ·仿真与结果分析 | 第15-20页 |
| ·静态特性曲线的温度效应 | 第16-17页 |
| ·吸合角与释放角的温度效应 | 第17-18页 |
| ·典型电压值的增量百分比随温度变化 | 第18-20页 |
| ·静态特性吸合角的修正 | 第20-25页 |
| ·扭转微镜的静力学模型与吸合角 | 第21-22页 |
| ·串联恒定电容时微镜的力学模型与吸合角 | 第22-24页 |
| ·串联不同电容时微镜的吸合角 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-27页 |
| 第三章 MEMS 扭转微镜的动态特性 | 第27-44页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·MEMS 扭转微镜的动力学模型 | 第27-29页 |
| ·温度对动力学模型的影响 | 第29-31页 |
| ·微镜运动过程中压膜阻尼系数随温度变化规律 | 第30页 |
| ·微镜动力学模型受温度影响 | 第30-31页 |
| ·微镜动态特性受温度效应的仿真与分析 | 第31-43页 |
| ·无阻尼扭转微镜系统的动态响应 | 第31-37页 |
| ·有阻尼扭转微镜系统的动态响应 | 第37-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第四章 MEMS 扭转微镜动态特性的控制校正 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·MEMS 扭转微镜运动特性受温度的影响 | 第44-46页 |
| ·扭转微镜运动受温度影响的简化模型 | 第44-45页 |
| ·扭转微镜运动特性受温度的影响 | 第45-46页 |
| ·模型参考自适应控制理论 | 第46-51页 |
| ·自适应控制简介 | 第46-47页 |
| ·模型参考自适应控制原理 | 第47页 |
| ·模型参考自适应控制系统设计方法 | 第47-51页 |
| ·引入模型参考自适应控制的微镜运动系统 | 第51-52页 |
| ·微镜运动模型的线性化 | 第51-52页 |
| ·扭转微镜自适应控制中参考模型的建立 | 第52页 |
| ·参考模型自适应控制对扭转微镜动态特性的校正 | 第52-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·工作总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 附录 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第67-68页 |
