| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·甲烷传感器概述 | 第9-16页 |
| ·甲烷传感器的分类 | 第9-13页 |
| ·MEMS传感器 | 第13-16页 |
| ·用于甲烷催化燃烧传感器的催化剂 | 第16-21页 |
| ·贵金属催化剂 | 第16-20页 |
| ·金属氧化物催化剂 | 第20-21页 |
| ·论文的选题及意义 | 第21-23页 |
| 第2章 基于介孔结构Pd,Pt/Al_2O_3薄膜的MEMS甲烷催化燃烧传感器研究 | 第23-44页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·实验部分 | 第23-31页 |
| ·原料与试剂 | 第23页 |
| ·溶胶的制备 | 第23-24页 |
| ·材料表征 | 第24-25页 |
| ·基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器的制备 | 第25-30页 |
| ·基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器性能测试 | 第30-31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-43页 |
| ·传统LEL传感器用贵金属催化剂催化活性评价 | 第31-32页 |
| ·微加热器电阻温度系数测定 | 第32-34页 |
| ·传感器工作温度测定 | 第34-35页 |
| ·材料结构研究 | 第35-39页 |
| ·基于MEMS技术的低功耗甲烷催化燃烧传感器的性能研究 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 反相微乳液法制备高比表面贵金属复合薄膜及MEMS甲烷催化燃烧传感器研究 | 第44-62页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验部分 | 第44-49页 |
| ·原料与试剂 | 第44-45页 |
| ·贵金属Pd,Pt/Al_2O_3复合反相微乳液制备 | 第45-46页 |
| ·材料表征 | 第46页 |
| ·基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器的制备 | 第46-48页 |
| ·基于MEMS技术低功耗甲烷催化燃烧传感器性能测试 | 第48-49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-61页 |
| ·材料结构研究 | 第49-53页 |
| ·基于MEMS技术的低功耗甲烷催化燃烧传感器的性能研究 | 第53-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 并联电阻法改进MEMS甲烷催化燃烧传感器性能研究 | 第62-68页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·基于介孔结构Pd,Pt/Al_2O_3薄膜的并联电阻法改进的MEMS甲烷催化燃烧传感器研究 | 第62-65页 |
| ·反相微乳液法制备高比表面贵金属复合薄膜及并联电阻法改进的MEMS甲烷催化燃烧传感器研究 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 总结与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 在读期间发表及待发表的论文 | 第76页 |
