| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-29页 |
| ·选题背景 | 第11-15页 |
| ·TiN 硬质涂层的研究现状 | 第15-26页 |
| ·TiN 涂层的制备工艺和膜层设计 | 第15-16页 |
| ·优化结构对 TiN 涂层减摩性能的影响 | 第16-18页 |
| ·离子注入改性对 TiN 涂层减摩性能的影响 | 第18-20页 |
| ·引入固体润滑成分对 TiN 涂层减摩性能的影响 | 第20-22页 |
| ·TiN 涂层减摩性能研究中存在的问题 | 第22-26页 |
| ·论文研究目的和研究内容 | 第26-29页 |
| ·研究目的 | 第26-27页 |
| ·研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 实验方法和实验设备 | 第29-40页 |
| ·实验方案 | 第29-30页 |
| ·涂层制备设备 | 第30-35页 |
| ·离子镀设备 | 第30-31页 |
| ·金属离子注入设备 | 第31-33页 |
| ·磁控溅射镀膜设备 | 第33-34页 |
| ·低温离子渗硫设备 | 第34-35页 |
| ·表面分析检测设备 | 第35-40页 |
| ·表面三维形貌仪 | 第36页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第36-37页 |
| ·X 射线衍射分析仪 | 第37页 |
| ·纳米压痕仪 | 第37页 |
| ·俄歇扫描系统 | 第37页 |
| ·X 射线光电子能谱仪 | 第37页 |
| ·摩擦磨损实验机 | 第37-40页 |
| 第3章 W 离子注入对 TiN 涂层微观结构和表面性能的影响 | 第40-57页 |
| ·前言 | 第40页 |
| ·涂层的制备 | 第40-41页 |
| ·实验材料 | 第40页 |
| ·工艺参数 | 第40-41页 |
| ·实验结果 | 第41-53页 |
| ·表面形貌 | 第41-44页 |
| ·元素随深度分布 | 第44页 |
| ·微观结构 | 第44-46页 |
| ·力学性能 | 第46-47页 |
| ·摩擦学性能 | 第47-48页 |
| ·磨损表面微观分析 | 第48-53页 |
| ·讨论 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 Mo 离子注入对 TiN 涂层微观结构和表面性能的影响 | 第57-73页 |
| ·前言 | 第57页 |
| ·涂层的制备 | 第57-58页 |
| ·实验材料 | 第57页 |
| ·工艺参数 | 第57-58页 |
| ·实验结果 | 第58-69页 |
| ·表面形貌 | 第58-60页 |
| ·元素随深度分布 | 第60-61页 |
| ·微观结构 | 第61-63页 |
| ·力学性能 | 第63-64页 |
| ·摩擦学性能 | 第64-65页 |
| ·磨损表面微观分析 | 第65-69页 |
| ·讨论 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 低温离子渗硫后处理对 W/Mo 离子注入 TiN 涂层结构和表面性能的影响 | 第73-93页 |
| ·前言 | 第73页 |
| ·低温离子渗硫后处理工艺 | 第73-74页 |
| ·低温离子渗硫对 W 离子注入 TiN 涂层的影响 | 第74-83页 |
| ·表面形貌 | 第74-75页 |
| ·元素随浓度分布 | 第75-77页 |
| ·XRD 相结构 | 第77页 |
| ·力学性能 | 第77-78页 |
| ·摩擦学性能 | 第78-79页 |
| ·磨损表面微观分析 | 第79-80页 |
| ·讨论 | 第80-83页 |
| ·低温离子渗硫对 Mo 离子注入 TiN 涂层的影响 | 第83-92页 |
| ·表面形貌 | 第83-85页 |
| ·元素随深度分布 | 第85-86页 |
| ·XRD 相结构 | 第86-87页 |
| ·力学性能 | 第87-88页 |
| ·摩擦学性能 | 第88页 |
| ·磨损表面微观分析 | 第88-90页 |
| ·讨论 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 磁控溅射 W 掺杂/低温离子渗硫复合处理对 TiN 涂层结构和表面性能的影响 | 第93-125页 |
| ·前言 | 第93页 |
| ·磁控溅射 W 掺杂对 TiN 涂层的影响 | 第93-106页 |
| ·涂层的制备 | 第93-95页 |
| ·涂层的厚度 | 第95-98页 |
| ·表面形貌 | 第98-101页 |
| ·微观结构 | 第101-105页 |
| ·力学性能 | 第105-106页 |
| ·低温离子渗硫后处理对 Ti-W-N 涂层的影响 | 第106-120页 |
| ·涂层的渗硫处理工艺 | 第106页 |
| ·涂层表面 S 元素的含量 | 第106-107页 |
| ·表面形貌 | 第107-113页 |
| ·XRD 相结构 | 第113-114页 |
| ·力学性能 | 第114-115页 |
| ·摩擦学性能 | 第115-116页 |
| ·磨损表面微观分析 | 第116-120页 |
| ·讨论 | 第120-124页 |
| ·本章小结 | 第124-125页 |
| 第7章 磁控溅射 Mo 掺杂/低温离子渗硫复合处理对 TiN 涂层结构和表面性能的影响 | 第125-156页 |
| ·前言 | 第125页 |
| ·磁控溅射 Mo 掺杂对 TiN 涂层的影响 | 第125-136页 |
| ·涂层的制备 | 第125-126页 |
| ·涂层的厚度 | 第126-129页 |
| ·表面形貌 | 第129-132页 |
| ·微观结构 | 第132-136页 |
| ·力学性能 | 第136页 |
| ·低温离子渗硫后处理对 Ti-Mo-N 涂层的影响 | 第136-151页 |
| ·涂层的渗硫处理工艺 | 第136页 |
| ·涂层表面 S 元素的含量 | 第136-137页 |
| ·表面形貌 | 第137-144页 |
| ·XRD 相结构 | 第144-145页 |
| ·力学性能 | 第145-146页 |
| ·摩擦学性能 | 第146-147页 |
| ·磨损表面微观分析 | 第147-151页 |
| ·讨论 | 第151-154页 |
| ·本章小结 | 第154-156页 |
| 第8章 结论 | 第156-160页 |
| ·主要研究结论 | 第156-158页 |
| ·主要创新点 | 第158-159页 |
| ·对下一步工作的建议 | 第159-160页 |
| 致谢 | 第160-161页 |
| 参考文献 | 第161-167页 |
| 附录 | 第167-168页 |
| 个人简历 | 第167-168页 |
| 博士学习期间发表的学术论文 | 第168页 |
| 博士学习期间参加的学术会议 | 第168页 |
| 博士学习期间获得的荣誉和奖励 | 第168页 |
