| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·微机电系统（MEMS）概述 | 第10-16页 |
| ·MEMS 技术的特点 | 第10-12页 |
| ·MEMS 的制造技术 | 第12-14页 |
| ·MEMS 技术在引信中的应用 | 第14-16页 |
| ·惯性开关国内外研究现状 | 第16-21页 |
| ·国外发展状况 | 第16-18页 |
| ·国内发展状况 | 第18-21页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第21-22页 |
| ·论文的主要内容 | 第22-23页 |
| 第2章 阈值可调惯性开关多物理场分析 | 第23-35页 |
| ·开关的工作原理 | 第23页 |
| ·静电场分析 | 第23-27页 |
| ·吸合效应 | 第23-26页 |
| ·“负”弹簧效应 | 第26-27页 |
| ·加速度场分析 | 第27-30页 |
| ·阻尼场分析 | 第30-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 第3章 阈值可调的 MEMS 惯性开关设计 | 第35-45页 |
| ·开关模型的建立 | 第35-38页 |
| ·模型的工艺步骤 | 第35-36页 |
| ·模型的系统级行为模型 | 第36-37页 |
| ·尺寸设计 | 第37页 |
| ·模型的三维显示 | 第37-38页 |
| ·机电耦合分析 | 第38-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第4章 基于 CoventorWare 软件的 MEMS 阈值可调惯性开关的系统级分析 | 第45-72页 |
| ·CoventorWare 分析软件的介绍 | 第45-47页 |
| ·吸合电压和迟滞电压分析 | 第47-50页 |
| ·吸合电压分析 | 第47-49页 |
| ·迟滞电压分析 | 第49-50页 |
| ·响应角度分析 | 第50-53页 |
| ·谐响应分析 | 第53-54页 |
| ·结构尺寸分析 | 第54-60页 |
| ·结构尺寸参数对阈值加速度闭合电压的影响分析 | 第54-56页 |
| ·结构尺寸参数对固有频率的影响分析 | 第56-60页 |
| ·频域分析 | 第60-63页 |
| ·有限元模态分析 | 第60-62页 |
| ·交流小信号分析 | 第62-63页 |
| ·参数分析 | 第63-64页 |
| ·灵敏度分析 | 第64-66页 |
| ·吸合电压灵敏度分析 | 第65页 |
| ·固有频率灵敏度分析 | 第65-66页 |
| ·阻尼分析 | 第66-68页 |
| ·蒙特卡洛分析 | 第68-70页 |
| ·可动电极存在±0.1μm 加工误差对吸合电压影响 | 第68-69页 |
| ·可动电极存在±0.1μm 加工误差对闭合时间影响 | 第69-70页 |
| ·小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
