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射频磁控溅射法制备CdO/CdTe薄膜太阳能电池

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第1章 文献综述第10-24页
   ·引言第10-11页
   ·太阳能电池简介第11-16页
     ·太阳能电池的基本工作原理第11-14页
     ·太阳能电池效率第14页
     ·太阳能电池结构第14-16页
   ·太阳能电池分类第16-21页
     ·单晶硅太阳电池第16页
     ·多晶硅太阳电池第16-17页
     ·多晶硅和微晶硅薄膜太阳电池第17页
     ·非晶硅薄膜太阳电池第17-18页
     ·带状硅太阳电池第18页
     ·ΙΙΙ V 族化合物太阳电池第18-19页
     ·硒铟铜多晶薄膜太阳电池第19-20页
     ·碲化镉多晶薄膜太阳电池第20-21页
     ·有机太阳电池第21页
     ·光伏发电概况第21-23页
     ·国外发展概况第21-22页
     ·国内发展概况第22-23页
   ·本论文的主要工作及目的第23-24页
第2章 样品的制备方法和测试方法第24-38页
   ·CdTe 薄膜的制备工艺第24-27页
     ·近距离空间升华法第24-25页
     ·电沉积法第25页
     ·磁控溅射法第25-26页
     ·真空蒸发法第26页
     ·近距离气相输运第26页
     ·丝网印刷法第26-27页
   ·射频磁控溅射制备 CdTe 多晶薄膜第27-32页
     ·磁控溅射沉积 CdTe 薄膜原理第27-28页
     ·射频磁控溅射的特点第28-29页
     ·射频磁控溅射系统第29-30页
     ·工艺参数对 CdTe 薄膜的影响第30-32页
   ·测试 CdTe 薄膜方法介绍第32-37页
     ·薄膜的晶体结构测试第32-33页
     ·薄膜光学性质的测试第33页
     ·薄膜的电学性能测试第33-36页
     ·薄膜表面形貌及成分测试第36-37页
   ·本章小结第37-38页
第3章 CdTe 薄膜的制备及特性研究第38-51页
   ·样品制备与测试第38-40页
     ·基片的清洗第38页
     ·CdTe 薄膜样品制备的实验过程第38-40页
   ·结果与讨论第40-50页
     ·薄膜晶体结构分析第40-43页
     ·薄膜的光学性质第43-46页
     ·薄膜的形貌与成分分析第46-50页
   ·本章总结第50-51页
第4章 Cu 掺杂对 CdTe 薄膜性能的影响第51-56页
   ·引言第51页
   ·掺杂过程讨论第51-55页
     ·共溅射法掺杂第51页
     ·Cu 掺杂前后 CdTe 薄膜的晶体结构分析第51-52页
     ·Cu 掺杂后 CdTe 薄膜的电学特性第52-54页
     ·Cu 掺杂后 CdTe 薄膜的光学特性第54-55页
   ·本章总结第55-56页
第5章 CdO/CdTe 薄膜电池的制备及性能测试第56-61页
   ·CdTe 薄膜电池结构第56-58页
     ·透明导电 ZnO 薄膜第56-57页
     ·CdO 薄膜的制备及特性第57页
     ·CdTe 薄膜及 Cu 背电极的制备第57-58页
   ·电池性能测试第58-60页
     ·薄膜电池的光谱响应第58页
     ·薄膜电池的伏安特性第58-60页
   ·本章总结第60-61页
第6章 结论第61-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-69页
详细摘要第69-73页

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