纳米标准样板的测量与溯源方法研究
| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-12页 |
| 图清单 | 第12-13页 |
| 表清单 | 第13-15页 |
| 1 绪论 | 第15-22页 |
| ·课题背景、目的及意义 | 第15-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-21页 |
| ·纳米标准样板的研究现状 | 第16-20页 |
| ·纳米尺度表征方法的研究进展 | 第20-21页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 纳米测量系统与白光干涉测头的搭建 | 第22-36页 |
| ·纳米测量机（NMM） | 第22-24页 |
| ·定位传感器 | 第24-26页 |
| ·激光聚焦式测头 | 第24-25页 |
| ·原子力显微镜测头 | 第25-26页 |
| ·白光干涉测头的搭建 | 第26-31页 |
| ·白光干涉测头的测量原理 | 第26-27页 |
| ·固定与运动机构 | 第27-28页 |
| ·光学干涉系统 | 第28-29页 |
| ·扫描图像采集系统 | 第29-30页 |
| ·白光干涉测头总体装配 | 第30页 |
| ·搭建白光干涉测头的意义 | 第30-31页 |
| ·超高台阶标准样板的测量与分析 | 第31-34页 |
| ·测量方法的研究 | 第31-33页 |
| ·标定实验与评价 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 3 纳米标准样板的测量与表征 | 第36-51页 |
| ·纵向标准样板的分析与测量 | 第36-40页 |
| ·单线台阶高度评价方法 | 第36-37页 |
| ·多区域低台阶标准样板的测量 | 第37-38页 |
| ·较小宽度台阶标准样板的测量 | 第38-40页 |
| ·横向标准样板的测量与表征 | 第40-44页 |
| ·正交角度的提取方法设计 | 第40-42页 |
| ·线间隔标准样板的测量 | 第42-44页 |
| ·不同反射率表面的标准样板的测量与表征 | 第44-50页 |
| ·台阶表面反射率一致性分析 | 第44-46页 |
| ·表面镀膜研究 | 第46-48页 |
| ·白光干涉测头的测量实验 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 溯源性研究 | 第51-65页 |
| ·实验环境 | 第51-54页 |
| ·超净实验环境 | 第51-53页 |
| ·测量系统噪音水平测试实验 | 第53-54页 |
| ·环境及仪器的稳定性分析结果 | 第54页 |
| ·NMM 的溯源性研究 | 第54-58页 |
| ·典型纳米量值溯源体系 | 第54-55页 |
| ·NMM 的激光拍频实验 | 第55-58页 |
| ·基于 NMM 的量值溯源体系的建立 | 第58-59页 |
| ·纳米测量系统的溯源性研究 | 第59-62页 |
| ·纳米测量系统的性能测试实验 | 第59-61页 |
| ·不确定度评价 | 第61-62页 |
| ·比对实验及分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 5 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文总结 | 第65-66页 |
| ·本论文创新点 | 第66页 |
| ·未来工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录 A 不确定度分析 | 第70-81页 |
| 作者简介 | 第81-82页 |
