三维微触觉测头校准装置的研究
| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 目次 | 第9-11页 |
| 图清单 | 第11-13页 |
| 表清单 | 第13-14页 |
| 1 绪论 | 第14-20页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-19页 |
| ·传感测头的代表性研究工作 | 第15-17页 |
| ·微纳米坐标测量系统的代表性研究工作 | 第17-18页 |
| ·国内微纳米测量技术的相关研究工作 | 第18-19页 |
| ·课题主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 MEMS 电容式微触觉测头设计 | 第20-30页 |
| ·电容式微触觉测头的结构设计 | 第20-23页 |
| ·电容传感器的测量原理 | 第23-25页 |
| ·变面积型电容传感器 | 第23-24页 |
| ·变极距型电容传感器 | 第24-25页 |
| ·变介质型电容传感器 | 第25页 |
| ·电容传感器的制备 | 第25-28页 |
| ·测头的封装 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 校准系统的结构和硬件设计 | 第30-38页 |
| ·校准系统的总体结构设计 | 第30页 |
| ·校准装置的参数设定 | 第30-31页 |
| ·测头的安装 | 第31-32页 |
| ·信号处理系统的设计 | 第32-36页 |
| ·测量电路的设计 | 第33-34页 |
| ·信号处理电路的设计 | 第34-35页 |
| ·接口电路的设计 | 第35-36页 |
| ·电源电路的设计 | 第36页 |
| ·切换装置的硬件设计 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 校准系统及切换装置的软件设计 | 第38-46页 |
| ·PI 控制软件 | 第38-39页 |
| ·单片机系统软件设计 | 第39-42页 |
| ·AD7747 软件设计 | 第39-41页 |
| ·MCU 软件设计 | 第41-42页 |
| ·上位机软件设计 | 第42-44页 |
| ·切换装置的软件设计 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 实验数据及结果分析 | 第46-64页 |
| ·电容性能测试 | 第46-47页 |
| ·信号处理系统的性能测试 | 第47-49页 |
| ·零点校准实验 | 第47-48页 |
| ·标称电容测量实验 | 第48-49页 |
| ·校准装置的校准实验 | 第49-53页 |
| ·测头性能的测试 | 第53-60页 |
| ·线性度和迟滞实验 | 第54-55页 |
| ·分辨力实验 | 第55-58页 |
| ·重复性实验 | 第58-59页 |
| ·漂移实验 | 第59-60页 |
| ·测头切换装置的测试实验 | 第60-61页 |
| ·对比实验 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·论文总结 | 第64-65页 |
| ·本文创新点 | 第65页 |
| ·工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录 A 切换装置电路原理图 | 第69-70页 |
| 附录 B 切换装置程序 | 第70-77页 |
| 作者简历 | 第77-78页 |
