| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7-9页 |
| ·硅基调制器的发展简述 | 第9-10页 |
| ·硅基调制器的分类 | 第10-14页 |
| ·本文的工作 | 第14-15页 |
| 2 硅基调制器的理论基础 | 第15-21页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·MACH-ZEHNDER 干涉型调制器的基本原理 | 第15-16页 |
| ·MZI 型硅基热光调制器 | 第16-17页 |
| ·MZI 型硅基电光调制器 | 第17-21页 |
| 3 硅基热光调制器 | 第21-31页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·硅基热光调制器的设计和模拟 | 第21-22页 |
| ·光子晶体波导 | 第22-24页 |
| ·利用ANSYS 设计，模拟硅中的热传递 | 第24-30页 |
| ·设计结果 | 第30-31页 |
| 4 硅基电光调制器 | 第31-42页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·硅基电光光子晶体MZI 调制器 | 第31-34页 |
| ·双MOS 型硅基电光MZI 调制器 | 第34-37页 |
| ·N-P-N 型硅基MZI 调制器 | 第37-42页 |
| 5 总结与展望 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表论文目录 | 第48页 |