微波等离子体的静电探针测试系统的研究设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·微波等离子体的概述 | 第9-13页 |
| ·微波等离子体的产生及其特点 | 第9-11页 |
| ·微波等离子体的应用 | 第11-13页 |
| ·薄膜制备技术 | 第12-13页 |
| ·刻蚀技术 | 第13页 |
| ·热解技术 | 第13页 |
| ·微波等离子体参数测试方法研究现状 | 第13-16页 |
| ·静电探针法 | 第14-15页 |
| ·光谱法 | 第15-16页 |
| ·发射光谱法 | 第15页 |
| ·激光诱导荧光法 | 第15-16页 |
| ·质谱法 | 第16页 |
| ·开发此系统的研究意义 | 第16-17页 |
| ·本论文的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 静电探针工作原理 | 第18-31页 |
| ·静电探针工作中的几个重要概念 | 第18-20页 |
| ·静电探针的工作原理 | 第20-27页 |
| ·静电单探针的工作原理 | 第21-24页 |
| ·静电双探针的工作原理 | 第24-27页 |
| ·探针测试中应注意的几个问题 | 第27-30页 |
| ·探针的工作区间 | 第27页 |
| ·探针污染 | 第27-28页 |
| ·探针表面温升 | 第28-29页 |
| ·磁场对探针的影响 | 第29页 |
| ·时间响应 | 第29-30页 |
| ·二次电子发射 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 静电探针测试系统的设计 | 第31-63页 |
| ·系统总体设计 | 第31-33页 |
| ·系统框图 | 第32页 |
| ·系统设计指标及要求 | 第32-33页 |
| ·静电探针的设计 | 第33-38页 |
| ·静电探针的基本设计依据 | 第33-37页 |
| ·设计要点 | 第33-34页 |
| ·探针材料的选择 | 第34-35页 |
| ·探针的几何形状 | 第35-37页 |
| ·探针结构的设计 | 第37-38页 |
| ·系统硬件和软件设计 | 第38-61页 |
| ·ADuC845单片机简介 | 第39-40页 |
| ·扫描电源的设计 | 第40-47页 |
| ·供电电路设计 | 第41-42页 |
| ·D/A转换及波形调整 | 第42-43页 |
| ·功率放大 | 第43-47页 |
| ·探针电压及电流检测电路 | 第47-49页 |
| ·光电隔离器 | 第49-51页 |
| ·通信接口设计 | 第51-52页 |
| ·高精度数据采集系统 | 第52-55页 |
| ·ADuC845片上ADC简介 | 第52页 |
| ·数据采集系统的设置 | 第52页 |
| ·ADuC845单片机程序设计 | 第52-55页 |
| ·上位机软件设计 | 第55-61页 |
| ·Delphi简介 | 第55-56页 |
| ·SPCOMM控件的介绍 | 第56-57页 |
| ·上位机系统软件设计 | 第57-59页 |
| ·数据处理 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 静电探针测试系统的应用 | 第63-70页 |
| ·测试实验说明 | 第63-64页 |
| ·实验结果及分析 | 第64-69页 |
| ·静电探针获取的伏安特性曲线 | 第64-66页 |
| ·气压对等离子体参数的影响 | 第66-67页 |
| ·微波功率对等离子体参数的影响 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第75页 |
