SILAR法合成ZnO纳米多晶薄膜的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-14页
·研究背景	第9-12页
·SILAR 法制备半导体薄膜进展	第12-13页
·本文主要内容	第13-14页
2 ZnO 纳米多晶薄膜的基本理论	第14-25页
·ZnO 体结构和特性	第14-15页
·ZnO 薄膜制备方法	第15-20页
·成膜机理	第20-22页
·发光机制	第22-25页
3 SILAR 法制备ZnO 纳米多晶薄膜的工艺	第25-35页
·引言	第25页
·SILAR 法原理	第25-28页
·SILAR 法制备ZnO 多晶薄膜	第28-32页
·ZnO 薄膜表征方法	第32-35页
4 工艺参数对ZnO 薄膜性能影响分析	第35-55页
·ZnO 薄膜的组成和结构分析	第35-45页
·ZnO 薄膜表面形貌分析	第45-50页
·ZnO 薄膜光学性能分析	第50-54页
·本章小结	第54-55页
5 SILAR 法制备ZnO 薄膜机理探讨	第55-66页
·表面亲水性影响	第55-56页
·表面吸附	第56-59页
·反应体系	第59-61页
·ZnO 晶形演变	第61-65页
·本章小结	第65-66页
6 总结与展望	第66-68页
致谢	第68-69页
参考文献	第69-74页
附录：攻读硕士期间申请的专利	第74页