光纤光谱传感器膜厚测量仪的研究
| 提要 | 第1-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·机械方法 | 第11-12页 |
| ·称重法 | 第12-13页 |
| ·石英晶体振荡法 | 第12-13页 |
| ·微量天平法 | 第13页 |
| ·电学方法 | 第13-15页 |
| ·电阻法 | 第13-14页 |
| ·电容法 | 第14页 |
| ·品质因素（Q值）变化测量法 | 第14页 |
| ·电离法 | 第14-15页 |
| ·光学方法 | 第15-18页 |
| ·光吸收法 | 第15页 |
| ·椭圆偏振法 | 第15-16页 |
| ·干涉条纹法 | 第16-17页 |
| ·干涉光强法和干涉光谱法 | 第17页 |
| ·光学测厚法的特点 | 第17-18页 |
| ·其它测厚法 | 第18页 |
| ·光纤传感器测厚技术概述 | 第18-20页 |
| ·单色光源光纤传感器测厚技术 | 第18-19页 |
| ·光纤光谱传感器测厚技术 | 第19-20页 |
| ·光纤传感器测厚技术的特点 | 第20页 |
| ·数字信号处理器概述 | 第20-23页 |
| ·论文选题的背景和意义 | 第23-24页 |
| ·论文的研究内容 | 第24-25页 |
| 2 干涉光谱法测厚原理 | 第25-31页 |
| ·菲涅尔公式 | 第25-27页 |
| ·干涉光谱法的理论分析 | 第27-30页 |
| ·反射系数和透射系数 | 第27-28页 |
| ·双光束干涉的相位差和光强分布 | 第28-29页 |
| ·薄膜厚度的计算 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 基于小波理论的数据分析方法 | 第31-37页 |
| ·小波去噪简介 | 第31-32页 |
| ·算法的基本原理 | 第32-35页 |
| ·仿真实验 | 第35-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 4 光纤光谱传感器膜厚测量仪系统设计 | 第37-56页 |
| ·仪器概述 | 第37-38页 |
| ·仪器总体模块 | 第37-38页 |
| ·仪器总体结构 | 第38页 |
| ·光源 | 第38-40页 |
| ·光纤传输单元 | 第40-42页 |
| ·光纤传输单元的基本结构 | 第40-41页 |
| ·光纤传感器 | 第41-42页 |
| ·分光及光电转换单元 | 第42-51页 |
| ·分光及光电转换单元的基本结构 | 第42-43页 |
| ·光栅 | 第43-46页 |
| ·CCD摄像头 | 第46-51页 |
| ·信号处理单元 | 第51-54页 |
| ·信号处理单元硬件部分的基本模块 | 第51页 |
| ·数字信号处理器TMS320VC5402简介 | 第51-53页 |
| ·键盘和显示设计 | 第53页 |
| ·接口电路设计 | 第53-54页 |
| ·软件设计 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 5 光纤光谱传感器膜厚测量仪的误差分析 | 第56-66页 |
| ·光源稳定性对测量的影响 | 第56-57页 |
| ·光纤损耗对测量的影响 | 第57-58页 |
| ·吸收损耗和散射损耗 | 第57-58页 |
| ·辐射损耗 | 第58页 |
| ·光程差引起的误差 | 第58-60页 |
| ·薄膜色散导致的误差 | 第60-61页 |
| ·薄膜不平整引起的误差 | 第61-64页 |
| ·分光及光电转换单元各元件位置变化引起的误差 | 第64页 |
| ·其它误差 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 6 光纤光谱传感器膜厚测量仪的应用研究 | 第66-68页 |
| ·SiO_2 薄膜厚度的测量 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 7 结论与展望 | 第68-70页 |
| ·结论 | 第68页 |
| ·展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 摘要 | 第78-81页 |
| ABSTRACT | 第81-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
