数字图像复原技术及其在显微测量中的应用
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-11页 |
| ·数字图像复原技术概述 | 第7-8页 |
| ·显微测量技术的发展现状 | 第8-9页 |
| ·本课题的研究工作 | 第9-11页 |
| 第二章 光学成像的卷积理论 | 第11-15页 |
| ·卷积成像理论 | 第11-12页 |
| ·卷积方程的矩阵表达 | 第12-15页 |
| 第三章 数字图像复原的理论基础 | 第15-30页 |
| ·图像复原问题的不适定性 | 第15页 |
| ·点扩展函数和光学传递函数 | 第15-16页 |
| ·几种经典的数字图像反卷积方法 | 第16-30页 |
| ·维纳滤波法 | 第16-18页 |
| ·最小二乘法 | 第18-20页 |
| ·最大似然法 | 第20-22页 |
| ·迭代盲反卷积法 | 第22-25页 |
| ·参数盲反卷积法 | 第25-30页 |
| 第四章 数字图像复原技术用于一维线宽测量 | 第30-40页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·样品及其常规检测方法 | 第30-31页 |
| ·本课题测量方法 | 第31-36页 |
| ·系统装置 | 第32页 |
| ·确定光学系统的PSF | 第32-34页 |
| ·反卷积方法的线性验证 | 第34-36页 |
| ·系统定标 | 第36-37页 |
| ·实验结果及讨论 | 第37-39页 |
| ·本章结论 | 第39-40页 |
| 第五章 数字图像复原技术用于两维形貌测量 | 第40-46页 |
| ·点扩展函数测量的改进 | 第40-42页 |
| ·系统定标 | 第42-43页 |
| ·实验测量及结果 | 第43-45页 |
| ·本章结论 | 第45-46页 |
| 第六章 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
| 详细摘要 | 第53-56页 |
