| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| ·传感器及其发展趋势 | 第12-13页 |
| ·碳纳米管及碳纳米管气体传感器 | 第13-15页 |
| ·碳纳米管 | 第13-15页 |
| ·碳纳米管气体传感器 | 第15页 |
| ·碳纳米管气体传感器研究现状 | 第15-23页 |
| ·吸附式碳纳米管气体传感器 | 第15-20页 |
| ·场致离化式碳纳米管气体传感器 | 第20-23页 |
| ·碳纳米管气体传感器的发展方向 | 第23页 |
| ·本论文的研究内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 碳纳米管电极的结构设计与制备工艺 | 第25-34页 |
| ·碳纳米管电极设计原理 | 第25-28页 |
| ·气体放电基本原理及其传感器应用 | 第25-26页 |
| ·碳纳米管电极设计思路 | 第26-28页 |
| ·碳纳米管侧壁电极结构及放电曲线特征 | 第28-29页 |
| ·电极制备中的基本工艺 | 第29-33页 |
| ·玻璃基片清洗及干燥 | 第30页 |
| ·金属薄膜的溅射 | 第30-31页 |
| ·光刻工艺 | 第31页 |
| ·选择电镀 | 第31-32页 |
| ·刻蚀 | 第32-33页 |
| ·电极制备中的特殊工艺 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 基于丝网印刷的碳纳米管电极的制备及工艺优化 | 第34-44页 |
| ·碳纳米管电极制备工艺流程 | 第34-36页 |
| ·碳纳米管薄膜制备工艺优化 | 第36-42页 |
| ·样品制备 | 第36-37页 |
| ·测试方法 | 第37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-42页 |
| ·基于丝网印刷的碳纳米管电极形貌及特点 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于复合电镀的碳纳米管电极的制备及工艺优化 | 第44-60页 |
| ·碳纳米管电极制备工艺流程 | 第44-46页 |
| ·NI-CNTS 复合镀层制备工艺优化 | 第46-57页 |
| ·CNTs 预处理对镀液中CNTs 分散性的影响 | 第46-51页 |
| ·电镀条件对Ni－CNTs 复合镀层放电性能的影响 | 第51-57页 |
| ·基于复合电镀的碳纳米管电极形貌及特点 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 碳纳米管电极在气体检测中的应用 | 第60-68页 |
| ·对不同气体离化放电性能的检测 | 第60-65页 |
| ·测试样品准备 | 第60页 |
| ·测试平台与方法 | 第60-61页 |
| ·测试结果 | 第61-64页 |
| ·结果分析 | 第64-65页 |
| ·碳纳米管电极在呼吸检测中的应用 | 第65-67页 |
| ·测试平台与方法 | 第65页 |
| ·初步测试结果 | 第65-66页 |
| ·结果分析 | 第66-67页 |
| ·本章小节 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-71页 |
| ·基本结论 | 第68-69页 |
| ·存在的问题及工作展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利目录 | 第77页 |
