| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·瓦斯气体的介绍 | 第10-11页 |
| ·气体传感器技术与发展现状 | 第11-18页 |
| ·气体传感器的原理及性能参数 | 第11-13页 |
| ·气体传感器的分类及存在的问题 | 第13-16页 |
| ·气体传感器的发展趋势 | 第16-18页 |
| ·瓦斯传感器国内外研究现状及研究趋势 | 第18-21页 |
| ·红外光谱法甲烷传感器的机理及发展现状 | 第18页 |
| ·吸收型光纤甲烷传感器的机理及发展现状 | 第18页 |
| ·载体催化型甲烷传感器的机理及发展现状 | 第18-19页 |
| ·气敏薄膜甲烷传感器的机理及研究现状 | 第19-21页 |
| ·本论文研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 SAW 和QCM 传感器工作原理及瓦斯测试系统的搭建 | 第22-29页 |
| ·SAW 传感器的工作原理 | 第22-25页 |
| ·简介 | 第22页 |
| ·SAW 传感器的结构及工作原理 | 第22-25页 |
| ·SAW 气体传感器的测试系统 | 第25页 |
| ·QCM 传感器的工作原理 | 第25-28页 |
| ·简介 | 第25-26页 |
| ·QCM 传感器的结构及工作原理 | 第26-27页 |
| ·QCM 气体传感器的测试系统 | 第27-28页 |
| ·特性参数 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 PDMEB 及其复合薄膜SAW 传感器的制备及敏感特性 | 第29-49页 |
| ·实验所用材料及仪器 | 第29-31页 |
| ·器件的预处理步骤 | 第31页 |
| ·SAW 器件测试电路 | 第31页 |
| ·PDMEB 以及复合薄膜的制备及其表征 | 第31-35页 |
| ·PDMEB 及其复合薄膜SAW 传感器的制备 | 第35-36页 |
| ·PDMEB 敏感薄膜及其复合薄膜SAW 传感器的气敏特性研究 | 第36-48页 |
| ·SAW 传感器的测试系统 | 第36页 |
| ·SAW/PDMEB 的气敏特性测试 | 第36-39页 |
| ·SAW/PDMEB/SnO_2 的气敏特性测试 | 第39-41页 |
| ·SAW/PDMEB/In_2O_3 的气敏特性测试 | 第41-43页 |
| ·PDMEB 薄膜及其复合薄膜气敏特性对比分析 | 第43-48页 |
| ·PDMEB 薄膜SAW 传感器特性研究与结果讨论 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 PDMEB 及其复合薄膜QCM 传感器的制备及敏感特性 | 第49-64页 |
| ·实验所用材料及仪器 | 第49页 |
| ·器件的预处理步骤 | 第49页 |
| ·QCM 测试系统原理图 | 第49-50页 |
| ·PDMEB 及其复合薄膜QCM 传感器的制备 | 第50页 |
| ·PDMEB 敏感薄膜及其复合薄膜QCM 传感器的气敏特性研究 | 第50-62页 |
| ·QCM 传感器的测试系统 | 第50-51页 |
| ·QCM/PDMEB 的气敏特性测试 | 第51-54页 |
| ·QCM/PDMEB/SnO_2 的气敏特性测试 | 第54-56页 |
| ·QCM/PDMEB/In_2O_3 的气敏特性测试 | 第56-58页 |
| ·PDMEB 薄膜及其复合薄膜气敏特性对比分析 | 第58-62页 |
| ·PDMEB 薄膜QCM 传感器特性研究与结果讨论 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·主要工作总结 | 第64-65页 |
| ·前景展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第71-72页 |
