| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-28页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第8-10页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第10-13页 |
| ·光电器件 | 第11页 |
| ·声表面波器件 | 第11页 |
| ·太阳能电池材料 | 第11-12页 |
| ·气敏元件 | 第12页 |
| ·与GaN互作缓冲层 | 第12-13页 |
| ·ZnO材料的研究现状 | 第13-16页 |
| ·高质量ZnO薄膜的生长以及现有器件的改进 | 第14-15页 |
| ·ZnO发光特性的研究 | 第15页 |
| ·掺杂ZnO的制备及特性研究 | 第15-16页 |
| ·p型材料的生长及ZnO薄膜器件的研制 | 第16页 |
| ·ZnO低维材料的制备及表征 | 第16页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第16-22页 |
| ·分子束外延 | 第17页 |
| ·激光脉冲沉积 | 第17-18页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第18页 |
| ·磁控溅射 | 第18-19页 |
| ·溶胶－凝胶法 | 第19-20页 |
| ·电化学沉积法 | 第20-22页 |
| ·ZnO的本征缺陷 | 第22-24页 |
| ·ZnO材料光致发光简介 | 第24-26页 |
| ·本文研究的目的和内容 | 第26-28页 |
| 第二章 电化学沉积ZnO薄膜实验 | 第28-34页 |
| ·实验设备简述 | 第28-29页 |
| ·实验材料及实验仪器 | 第29-30页 |
| ·实验材料 | 第29-30页 |
| ·实验所用仪器 | 第30页 |
| ·实验前处理 | 第30-31页 |
| ·实验方案 | 第31-32页 |
| ·测试方法 | 第32-34页 |
| ·X射线衍射仪 | 第32页 |
| ·冷场发射扫描电子显微镜 | 第32页 |
| ·紫外可见分光光度计 | 第32-33页 |
| ·红外光谱分析 | 第33页 |
| ·光致发光激光器 | 第33-34页 |
| 第三章 电化学沉积ZnO薄膜的反应机理及结构形貌分析 | 第34-48页 |
| ·电化学沉积ZnO薄膜的反应机理研究 | 第34-36页 |
| ·反应条件的影响 | 第36-39页 |
| ·pH对电沉积ZnO薄膜的影响 | 第36-37页 |
| ·溶液温度对电沉积ZnO薄膜的影响 | 第37-38页 |
| ·电极电势对电沉积ZnO薄膜的影响 | 第38-39页 |
| ·ZnO薄膜的结构与形貌分析 | 第39-46页 |
| ·电极电势对ZnO结构与表面形貌的影响 | 第39-43页 |
| ·沉积时间对ZnO结构与表面形貌的影响 | 第43-46页 |
| ·ZnO薄膜沉积机制的研究 | 第46-48页 |
| 第四章 电化学沉积ZnO薄膜的光学性质 | 第48-57页 |
| ·电沉积ZnO薄膜的光学性质 | 第48-51页 |
| ·退火对ZnO薄膜禁带宽度的影响 | 第51-54页 |
| ·ZnO薄膜的发光性能 | 第54-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-68页 |
| 摘要 | 第68-71页 |
| Abstract | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |