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溶胶—凝胶法制备掺铒光波导放大器

摘要第1-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第7-13页
第二章 利用溶胶-凝胶法制备掺铒二氧化硅薄膜第13-31页
   ·Er~(3+)的特性第13-17页
     ·铒离子的能级结构第13-15页
     ·稀土离子的声子弛豫过程第15页
     ·稀土离子之间的相互作用第15-17页
   ·溶胶-凝胶法及SC-RTA技术第17-20页
     ·溶胶-凝胶法的化学反应过程第17-18页
     ·利用溶胶-凝胶法制备二氧化硅薄膜第18-19页
     ·SC-RTA技术第19-20页
   ·制备过程第20-26页
     ·溶液的配置第20-25页
     ·二氧化硅薄膜的制备第25-26页
   ·掺铒二氧化硅薄膜的性质测量第26-31页
     ·厚度与折射率的测量第26-28页
     ·表面形貌第28-29页
     ·光致荧光谱和荧光寿命的测量第29-31页
第三章 掺铒光波导放大器的设计与制备第31-55页
   ·光波导的设计思路第31-34页
   ·EDWA的具体设计第34-39页
   ·制备过程第39-45页
     ·高折射率掺TiO_2二氧化硅薄膜的制备第39-41页
     ·光刻第41-42页
     ·湿法刻蚀第42-45页
     ·覆盖层的制作第45页
   ·EDWA光学性能表征第45-52页
     ·损耗的测量第45-47页
     ·增益的测量第47-50页
     ·出射光斑的拍摄第50-52页
   ·讨论与分析第52-55页
     ·损耗第52-53页
     ·增益第53-54页
     ·小结第54-55页
第四章 结论与展望第55-57页
   ·结论第55页
   ·展望第55-57页
参考文献第57-60页
致谢第60-62页

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