扫描电镜载物台定位系统关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·概述 | 第11页 |
| ·并联机器人的研究现状 | 第11-13页 |
| ·少自由度并联机器人的研究现状 | 第13-14页 |
| ·微操作机器人研究综述 | 第14-19页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 SEM 载物台定位机构设计及运动学分析 | 第20-39页 |
| ·概述 | 第20页 |
| ·现有 SEM 载物台定位机构及存在问题 | 第20-22页 |
| ·SEM 载物台定位机构设计 | 第22-28页 |
| ·手动定位机构设计 | 第22-23页 |
| ·自动定位机构设计 | 第23-24页 |
| ·手动定位机构模型及其螺旋运动 | 第24-25页 |
| ·自动定位机构模型及其螺旋运动 | 第25-26页 |
| ·定位机构自由度的计算 | 第26-27页 |
| ·定位机构输入合理性判别 | 第27-28页 |
| ·手动定位机构运动学分析 | 第28-32页 |
| ·4-PUU 机构位置分析 | 第28-29页 |
| ·4-PUU 机构速度分析 | 第29-30页 |
| ·4-PUU 机构加速度分析 | 第30-31页 |
| ·数值算例 | 第31-32页 |
| ·自动定位机构运动学分析 | 第32-37页 |
| ·4-UPU 机构位置分析 | 第33-34页 |
| ·4-UPU 机构速度分析 | 第34-35页 |
| ·4-UPU 机构加速度分析 | 第35-36页 |
| ·数值算例 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 SEM 载物台定位机构性能分析 | 第39-51页 |
| ·概述 | 第39页 |
| ·SEM 载物台定位机构工作空间分析 | 第39-44页 |
| ·并联机器人工作空间的确定方法 | 第39-41页 |
| ·4-PUU 机构工作空间分析 | 第41-42页 |
| ·4-UPU 机构工作空间分析 | 第42-44页 |
| ·SEM 载物台定位机构特殊形位分析 | 第44-46页 |
| ·4-PUU 机构特殊形位分析 | 第44-45页 |
| ·4-UPU 机构特殊形位分析 | 第45-46页 |
| ·SEM 载物台定位机构受力分析 | 第46-50页 |
| ·4-PUU 机构受力分析 | 第46-48页 |
| ·4-UPU 机构受力分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 SEM 载物台自动定位机构动力学分析 | 第51-71页 |
| ·概述 | 第51页 |
| ·拉格朗日动力学模型 | 第51-53页 |
| ·4-UPU 机构分支动力学分析 | 第53-65页 |
| ·伸缩杆动能分析 | 第53-60页 |
| ·伸缩杆势能分析 | 第60-61页 |
| ·摆动杆动能分析 | 第61-64页 |
| ·摆动杆势能分析 | 第64-65页 |
| ·4-UPU 机构动平台动力学分析 | 第65-66页 |
| ·动平台动能分析 | 第65页 |
| ·动平台势能分析 | 第65-66页 |
| ·算例 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第5章 并联机器人在微操作系统中的应用 | 第71-78页 |
| ·概述 | 第71页 |
| ·微操作系统的组成 | 第71-75页 |
| ·左操作手机构 | 第72-73页 |
| ·右操作手机构 | 第73页 |
| ·光学隔振平台 | 第73页 |
| ·高级连续变倍立体显微镜 | 第73页 |
| ·图像采集系统 | 第73-75页 |
| ·应用实例 | 第75-76页 |
| ·4-UPU 机构运动学仿真 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-79页 |
| 附录 1 4-PUU 加速度公式 | 第79-84页 |
| 附录 2 4-UPU 加速度公式 | 第84-89页 |
| 参考文献 | 第89-94页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 作者简介 | 第96页 |
